电子束镀膜机报价

电子束蒸发镀膜机是由哪些部分组成的？

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设备组成：

设备由薄膜沉积室、真空获得系统、真空测量系统、电子束蒸发系统、水冷却循环系统、膜厚监测及控制系统、安全保护系统组成。

作用：电子束蒸镀常用来制备Al、CO、Ni、Fe的合金或氧化物膜，电子束镀膜机哪家好，SiO2、ZrO2膜，抗腐蚀和耐高温氧化膜。

电子束蒸发镀膜设备介绍哪些性能？

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真空测量：采用数显复合真空计（两只电阻规测量低真空，电子束镀膜机价格，一只电离规测量高真空）， 测量范围为1×105Pa —1×10-5Pa。

断水报警、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护。

电子束镀膜设备介绍

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电子束蒸镀（Electron Beam Evaporation）是物理气相沉积的一种。与传统蒸镀方式不同，电子束蒸镀利用电磁场的配合可以精准地实现利用高能电子轰击坩埚内靶材，使之融化进而沉积在基片上。电子束蒸镀可以镀出高纯度的薄膜。

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