氦质谱真空查漏

{精}的查漏工作人员必须做到细心、认真，必须做到查一点排除一点的良好工作作风，不得马虎粗心而造成查漏工作的重复进行。本次查漏工作维护车间技术人员应给予必要的技术支持，（如将该机组系统图借于查漏人员）同时应随时监督、检查查漏工作的进行状况。{精}工作人员必须熟悉整个系统各相关管道阀门的具体位置及名称，以便为漏点治理工作提供可靠的依据；同时工作人员应自行做好真空查漏计划方案，采取逐级排除的方法确定漏点存在的部位。

真空检漏法。将被检容器内部抽空后，空冷岛真空查漏，再把试验物质施于容器外表可yi位置。如有漏孔，垃圾发电真空查漏，试验物质便通过漏孔进入容器，真空查漏，通过一些方法或仪器指示出来，从而可判断出漏孔的位置和大小。属于此类的方法有：静态升压法；放电管法；真空计法；氢-钯法；离子泵法；高频火花检漏法；卤素检漏法；质谱检漏法。其中离子泵检漏法是，溅射离子泵的离子流大小可反映真空系统真空度的高低，氦质谱真空查漏，因此，类似于电离真空计的方法，用离子泵的电流指示可对系统或被抽容器进行检漏。这也是一种既简单又灵敏的检漏方法。

西安世豪电力科技有限公司分享：仪器泄漏率判断标准：

1) 氦质谱检漏仪标准漏率:  1.6E-12

2) 氦质谱检漏仪标准零位:  1.0E-08

3) 氦质谱检漏仪漏量范围:  1.0E-08至9.0E-07（为小漏率影响范围：20-50pa/min）

4) 氦质谱检漏仪漏量范围:  9.0E-07至9.0E-06（为中小漏率影响范围：50-100pa/min）

5) 氦质谱检漏仪漏量范围:  9.0E-06至9.0E-05（为大漏量影响范围：100-150pa/min）

6) 氦质谱检漏仪漏量范围:  9.0E-05至9.0E-04（为中大漏量影响范围：150-200pa/min）

7) 氦质谱检漏仪漏量范围:  9.0E-04至9.0E-03（为特大漏量影响范围：200-800pa/min)此漏量只做参考。

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