厂商 :沈阳鹏程真空技术有限责任公司
辽宁 沈阳- 主营产品:
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电子束蒸发镀膜机的技术特点
沈阳鹏程真空技术有限责任公司专业生产、销售电子束产品,以下信息由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供。
1、样品台:水冷样品座,样品座高度可调,便于调整蒸距。调节范围:样品台与基片的可调节范围300mm.
2、电子枪:电子枪功率6kW可调(满足金属、绝缘材料高速蒸发)4穴水冷坩埚(适用于对多种材料进行蒸发镀制多层膜且膜层较薄工艺中应用效果好)。为保持E型电子枪蒸发绝缘稳定性,电子束蒸发镀膜机生产厂家,配制高品质束流扫描控制器,具有多种供控制程序进行选择的预设模式,方便于操作、实验数据积累。配套相应蒸发坩埚内衬,双枪电子束蒸发镀膜机生产厂家,以适应不同材料,确保蒸发速率稳定性,重复性.
电子束蒸发镀膜的优势
电子束蒸发的优点在于:电子束的光斑可以随意调整,可以一枪多用,灯丝可以隐藏,避免污染,可以蒸发任意镀膜材料,维修方便,蒸发速度可以随意控制,材料分解小,膜密度高。机械强度好。
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电子束蒸镀系统的特点
** 涡轮分子泵,串接机械泵或干泵
** pocket电子枪
** 电子束源和基片遮板
** 高性能的开关电源,杰出的消弧性能
** 自动Pocket索引以及可编程的扫描控制器
** 膜厚监测,可设置目标膜厚作为工艺终点条件
** 旋转样品台,提供高均匀性
** 带观察视窗的腔门,便于放片/取片
** PC全自动控制,具有高度的可重复性
** Labview软件的计算机全自动工艺控制控
** 多级密码保护的授权访问设计
** EMO保护以及完全的安全联锁
以上就是为大家介绍的全部内容,希望对大家有所帮助。如果您想要了解更多电子束的知识,欢迎拨打图片上的热线联系我们。
沈阳鹏程-电子束蒸发镀膜机生产厂家由沈阳鹏程真空技术有限责任公司提供。行路致远,砥砺前行。沈阳鹏程真空技术有限责任公司(www.pengchengzk.com)致力成为与您共赢、共生、共同前行的战略伙伴,更矢志成为成型设备具影响力的企业,与您一起飞跃,共同成功!