DZS800型电子束蒸发镀膜设备报价

电子束镀膜原理

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电子束蒸镀是利用加速电子轰击镀膜材料，电子的动能转换成热能使镀膜材料加热蒸发，DZS800型电子束蒸发镀膜设备公司，并成膜。电子枪有直射式、环型和E型之分。电子束加热蒸镀的特点是能获得极高的能量密度，DZS800型电子束蒸发镀膜设备，可达109w/cm2，加热温度可达3000～6000℃，可以蒸发难熔金属或化合物;被蒸发材料置于水冷的坩埚中，可避免坩埚材料的污染，制备高纯薄膜；另外，DZS800型电子束蒸发镀膜设备多少钱，由于蒸发物加热面积小，因而热辐射损失减少，热效率高。但结构较复杂，且对较多的化合物，由于电子的轰击有可能分解，故不适合多数化合物的蒸镀。

电子束镀膜的溅射方式

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溅射方式是用高速正离子轰击靶材表面，通过动能传输，令靶材的分子（原子）有足够的能量从靶材表面逸出，在产品表面凝聚形成薄膜。

用溅射的方法制镀的薄膜附着性强，DZS800型电子束蒸发镀膜设备哪家好，薄膜的纯度高，可以同时溅射多种不同成分的材料，但是对靶材的要求高，不能象电子枪一样节约资源。

目前运用较多的有磁控溅射，磁控溅射是指平行于阴极表面施加强电场，将电子约束在阴极靶材表面附近，提高电离效率。它是操作比较简单的一种，所以运用非常广。

电子束操作及注意事项

①电子枪工作前必须检查水流是否正常，工作过程中务必保证水压、水流量指示，否则将造成坩埚损坏。?

②电子枪起动真空度6.7×10-3Pa。?

③蒸发前电子枪的阴极灯丝应预热，预热电流为0.6A，预热时间新阴极5分钟以上（应缓慢调至0.6A，以防阴极变形），旧阴极2分钟即可。?

④蒸发前对材料先预热除气。?

⑤蒸发完后，按下列顺序关闭高压电源：关蒸发档板→关闭高压→灯丝电源调至预热0.6A的位置→关闭束流调节电源并调至低位置→关闭磁场电源，工作时操作顺序与此顺序相反。?

⑥电子枪灯丝停止加热后，要停留10分钟以上才能向蒸发室放气

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