立式扩散炉

扩散炉不能升温怎么办？

扩散炉不能升温，主要与温控板及加触发板有关，应该从以下几个方面进行检查：

1、检查触发板上的触发指示灯亮不亮。如果不亮，合肥扩散炉，说明没有触发信号。再检查控制 柜面板上的加热指示灯是否亮。如果亮，说明触发板与下位机机箱转接之间的连接信号线转接插头接触不好；如果不亮，高温扩散炉多少钱，说明系统温度参数没配置好或温控板有问题。  

2、如果触发板上的触发指示灯亮，扩散炉厂家，说明触发板上有触发信号，则应检查变压器输出 电压是否正常。如果正常，检查可控硅是否开路。

3、检查炉体的炉丝是否烧断。

扩散炉是半导体器件及大规模集成电路制造过程中用于对晶片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺的一种热加工设备。

1、可保存多条工艺曲线，每条曲线可设置多步。

2、工艺曲线的自动运行控制功能。

3、自动运行中可暂停/继续运行功能。

4、工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能。

5、智能升降温斜率控制功能。

6、系统故障的检测与报警功能。

7、系统误差修正（单点或多点动态修正功能）。

扩散炉是半导体器件及大规模集成电路制造过程中用于对晶片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺的一种热加工设备。

扩散炉是半导体集成电路工艺的基础设备，它与半导体工艺互相依存、互相促进、共同发展。

扩散炉主要是完成半导体元器件的扩散，氧化、退火、钎焊等工艺，立式扩散炉，具有应用范围广，安全可靠、控制精度高等特点。温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制，温度控制具有良好的稳定性、重复性。

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