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安徽 合肥市- 主营产品:
- 箱式炉
- 管式炉
- 真空炉
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商品详细描述
扩散炉是集成电路生产线前工序的重要工艺设备之一。它的主要用途是对半导体进行掺杂,即在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片,从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布,以便建立起不同的电特性区域。虽然某些工艺可以使用离子注入的方法进行掺杂,但是热扩散仍是最主要、最普遍的掺杂方法。硅的热氧化作用是使硅片表面在高温下与氧化剂发生反应,生长一层二氧化硅膜。氧化方法有干氧氧化和水汽氧化(含氢氧合成)两种,扩散炉价格,扩散炉是用这两种氧化方法制备氧化层的必备设备。扩散炉是半导体集成电路工艺的基础设备,扩散炉生产厂家,它与半导体工艺互相依存、互相促进、共同发展。
扩散炉是研制生产晶体管、可控硅和集成电路等半导体器件的工艺设备之一,上海扩散炉,主要用于扩散和氧化等工序。
扩散炉是半导体集成电路工艺的基础设备,它与半导体工艺互相依存、互相促进、共同发展。进入21世纪,真空扩散炉,电子信息产业的持续高速发展激励和带动了集成电路产业的发展,这就为微电子产业发展提供了广阔的发展空间,也为半导体设备提供了巨大的市场潜力。
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