上海电容位移传感器

随着微机电技术的发展，山东电容位移传感器，如今的电容式加速度传感器都普遍采用的MEMS技术制造。下图显示了一种MEMS变电容式加速度传感器的结构，它的整个敏感元件由粘在一起的三个单晶硅片构成。其中上、下硅片构成两个固定电极，中间的硅片通过化学刻蚀形成由柔性薄膜支撑的具有刚性中心质量块的形状，薄膜的厚度取决于该加速度传感器的量程。另外，在薄膜上还有刻蚀出的小孔，当薄膜随质量块运动时，空气流经小孔从而产生所需的阻尼力。由于采用MEMS技术得到了这种一体化的结构，它的可靠性是相当高的。

电容位移传感器工作原理

以电容器为敏感元件，上海电容位移传感器，

将机械位移量转换为电容量变化，可进行位移的测量。

平行板电容器的电容与极板面积成正比，与极板间距成反比。

由一个固定极板和一个可移动极板，电容位移传感器，可以组成变面积式电容传感器。

改变两极板的对应面积，传感器的电容随之变化。    

容栅位移传感器是基于变面积工作原理的电容传感器，

其电极的排列如同栅状，山西电容位移传感器，相当于多个变面积型电容传感器的并联。

定极板为两组等间隔交叉的极栅，动极板的极距相同且栅宽相同。

动极板相对于定极板移动时，机械位移量转变为电容值的变化，

通过电路转化得到电信号的相应变化量。    

物理实验中使用的一种电子数显尺，就是采用多级片型容栅作为传感器，

动尺的多组栅片并联是为了提高测量精度及降低对传感器制造精度的要求。

动极板在移动的过程中，始终与不同的小电极组成差动电容器。

动尺相对于定尺移动时，电容周期变化，

产生的脉冲信号通过电路转化放大及芯片计算得到位移值的变化，并显示出来。

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