脉冲激光沉积装置报价

厂商 :沈阳鹏程真空技术有限责任公司

辽宁 沈阳
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商品详细描述









脉冲激光沉积简介

脉冲激光沉积,就是将激光聚焦于靶材上一个较小的面积,利用激光的高能量密度将部分靶材料蒸发甚至电离,脉冲激光沉积装置哪家好,使其能够脱离靶材而向基底运动,进而在基底上沉积,从而形成薄膜的一种方式。 在众多的薄膜制备方法中,脉冲激光沉积技术的应用较为广泛,脉冲激光沉积装置报价,可用来制备金属、半导体、氧化物、氮化物、碳化物、硼化物、硅化物、化物及氟化物等各种物质薄膜,甚至还用来制备一些难以合成的材料膜,如金刚石、立方氮化物膜等。

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脉冲激光沉积系统配置介绍

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脉冲激光沉积系统配置:

生长室,进样室可选水平、垂直两种靶台可选激光加热和辐射加热两种样品台可选,激光加热高的温度1200℃工艺气路可以任意搭配配备高压RHEED,工作气压可达100Pa可预留法兰,用于LEED,K-Cell, E-beam等其它可选项如臭氧发生器,脉冲激光沉积装置多少钱,离子源,掩膜系统等。



脉冲激光沉积系统的特点有哪些?

? ?超高真空不锈钢腔体

? ?可集成热蒸发源或溅射源

? ?可旋转的耐氧化基片加热台

? ?流量计或针阀准确控制气体流量

? ?标准真空计? ?干泵与分子泵

? ?可选配不锈钢快速进样室

? ?可选配基片-靶材距离自动控制系统

? ?是金属氧化物、氮化物、碳化物、金属纳米薄膜、多层膜、超晶格的较佳设备

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脉冲激光沉积装置哪家好-脉冲激光沉积装置-沈阳鹏程真空技术由沈阳鹏程真空技术有限责任公司提供。沈阳鹏程真空技术有限责任公司位于沈阳市沈河区凌云街35号。在市场经济的浪潮中拼博和发展,目前沈阳鹏程在成型设备中享有良好的声誉。沈阳鹏程取得商盟认证,标志着我们的服务和管理水平达到了一个新的高度。沈阳鹏程全体员工愿与各界有识之士共同发展,共创美好未来。

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