厂商 ：深圳市森美协尔科技有限公司
广东 深圳市- 主营产品：
SX系列半自动晶圆探针台
型号
SX-6
SX-8
SX-12
外形（W*D*H）
1000mm*1400mm*1400mm
1100mm*1500mm*1400mm
1200mm*1600mm*1400mm
重量
约1000KG
约1150KG
约1350KG
电力需求
AC220V，50~60Hz
CDA需求
0.4~0.8Mpa
Chuck
尺寸
6″
8″
12″
X-Y轴行程
200mm*300mm
250mm*400mm
350mm*500mm
X-Y轴移动解析度
0.1μm
X-Y轴重定位精度
≤±1μm
X-Y移动速度
≥70mm/sec
Z轴行程
20mm
Z轴移动解析度
0.1μm
Z轴重定位精度
≤±1μm
Z轴移动速度
≥20mm/sec
Theta角度行程
±10°
Theta角度解析度
0.0001°
样品固定方式
多孔真空吸附，独立分开控制
更换样品方式
Chuck快速拉出
结构
三轴超低噪声设计，镀金，电学独立悬空（chuck可作为背电极）
针座平台
规格
O型平台，最多可放置12个针座（不安装八角盒时）
显微镜X-Y-Z
X-Y轴行程
2″* 2″
X-Y轴移动解析度
0.1μm
X-Y轴重定位精度
≤±2μm
X-Y移动速度
≥10mm/sec
Z轴行程
5″
Z轴移动解析度
0.1μm
Z轴重定位精度
≤±1μm
Z轴移动速度
≥10mm/sec
显微镜
变倍显微镜
15：1三档变倍显微镜，可同时显示低倍和中倍/高倍画面，便于点针操作
相机
双相机（200W或者500W 工业级数字相机）
点针规格
点针精度
10μm / 2μm / 0.7μm
X-Y-Z行程
12mm-12mm-12mm
漏电精度
10pA / 100fA / 10fA
接口形式
香蕉头/同轴 /三轴/ SMA /SHV等
固定方式
磁力吸附 / 真空吸附
温控组件
温度范围
﹣60℃-200℃（标准）
温控稳定性
±0.1℃
温控分辨率
0.01℃
升温时间（12″卡盘）
﹣60℃至+25℃≤15分钟
+25℃至+200℃≤25分钟
降温时间（12″卡盘）
﹢200℃至+25℃≤30分钟
﹢25℃ 至-60℃≤50分钟
噪声
＜50dB
加热方式
低压直流加热/PID控制
制冷方式
压缩机制冷
减震
减震方式
空气薄膜减震系统，确保2000X放大时画面不抖动
震动抑制
在运动过程中以及起始或者停止时能够极快的速度保证设备的平稳≤1S，提高测试效率。
系统
EMI
> 30 dB (typical) @ 1 kHz to 1 MHz
光衰减
≥ 130 dB
光谱噪声基底
≤ -180 dBVrms/rtHz (≤ 1 MHz)
系统交流噪声
≤ 5 mVp-p (≤ 1 GHz)
软件功能
自动测量和补偿Wafer高度
自动align，校准晶圆校水平
自动测量Die size及生成map图
任意wafer map 编辑
差异数据的标定Ink mark
可实时显示测试结果
可对仪表的输入输出参数进行管理编程
可对测试结果进行bin值划分，判断器件好坏
多系统集成迅速完成，可支持单点或连续测试
支持Z，N形等测试
一键自动校准RF探针模块，自动清针功能
操作系统与应用分离；操作系统可独立式升级，应用独立升级
器件测试应用独立升级
强大的数据储存能力以及数据处理能力
自动保存数据以及数据曲线，且数据可远程访问
通讯接口：/485/TCP/IP/GPIB
特点：
超高的测试精度，效率和稳定性
便捷的仪器接入
多倍率同时显示光学系统
可升级大功率晶圆测试
（-60~200℃）超低噪声高低温Chuck
可升级射频测试
功能丰富的测试软件
可升级全自动测试
