五星行透明导电薄膜材料

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透明导电膜(TCO)在太阳能电池上主要用作电池的透明电极, 有些还可同时作为减反射膜。不同透明导电膜的电学、光学以及结构等都不相同, 亦对太阳能电池的光电特性和输出特性( 如电池的内外量子效率、短路电流、开路电压、填充因子等) 产生不同的影响。一般, 在太阳能电池中对透明导电膜的要求是载流子浓度高、带隙宽度大、光电特性好、化学性质稳定、较低的电阻率、机械强度高以及优良的耐磨损性等。

ITO 薄膜是一种半导体透明薄膜, 它是氧化铟锡( indium t in ox ide) 英文名称的缩写。有学者将氧化铟系列( In2O 22SnO 2) 也称之为ITO 薄膜。作为透明导电电极, 要求ITO 薄膜有良好的透明性和导电性。所以, 此类材料的禁带宽度E g 一般都大于3 eV , 其掺杂组分要偏离化学计量比。ITO 薄膜的制备方法有蒸发、溅射、反应离子镀、化学汽相沉积、热解喷涂等, 但使用最多的是反应磁控溅射法[ 1, 2 ]。与其它透明导电薄膜相比, ITO 薄膜具有良好的化学稳定性、热稳定性以及良好的图形加工特性。

。我们发现经过铯化处理的ITO 薄膜具有光电发射效应。其光电发射稳定, 有1. 71 ua/lm 的积分灵敏度, 寿命达千小时以上。这种ITO 薄膜的光电发射对于研制大面积的光电器件、平板显示器件会有较大的促进作用。