IV测试手动探针台

       中端探针台

   规格

• 固定样品方式：真空吸附
• chuck尺寸：6英寸，圆形（方形可选）
• chuck材质：不锈钢（可升级镀金）
• chuck旋转角度：0-360°可带角度锁定，精度0.1°
• Chuck X-Y移动行程：6" x6"，移动精度：5um（可升级为1um精度）
• 针座平台：U型平台，可放置8个针座，加载射频针座
• 平台升降：可快速升降5mm
• 显微镜：长工作距离工业显微镜，含CCD接口
• 显微镜放大倍率：20X~2000X （倍率可选）
• 显微镜的快速升降：可选择显微镜倾仰装置或者气动升降装置
• 显微镜X-Y轴行程：2" x2"
• 与吉时利2400/2600B/4200、 安捷伦4294/34401A/66321B等测试源表均能完美配合使用

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