如何选择低温真空探针台

测试的相关产品有哪些，例如晶圆，芯片等，最大的尺寸为多少
  此项决定探针台的卡盘尺寸的大小。


测试的相关产品，晶圆或者芯片上的线宽或者PAD的尺寸和间距是多少 
  此项关系到探针台的整体精度和探针座的测试精度要达到多少和显微镜的倍率要达到多大


测试点的大小也要取决探针的大小
  探针的材质：针尖为钨，针杆为镍 此种材质与芯片晶圆的材质非常容合不会对样品造成损坏 
  探针一般分为硬针和软针 
  软针类(一般用于FIB的微细线路和MINI PAD)
           0.2微米   0.7微米 1微米 
  硬针类(一般用于较粗的线路和大的PAD上)
          5微米 10微米 15微米 20 微米


每次测试时同时最多会达到多少个测试点？
    此项要取决探针座的数量
    探针座的吸附方式分为三种：
   1、纯磁力吸附  2、磁力翻转 3、真空吸附
   探针座的探针夹具分为两种：
   1、弹簧式（漏电精度为10PA，方便取放） 
   2、铜管式（漏电精度可达100FA，需配合箱的使用，取放非常方便） 
      可根据介绍取其一种


测试时是否对电信号有要求，例如低电流，低电容等
   此项决定探针的夹具和是否要增加箱 
   箱与铜管式的探针夹具配合可将测试电信号的精度提高。 
   低电流精度可达：100FA
   低电容：10PF，可抗高压1000V
   普通的配置低电流只能达到10PA


测试产品时是否需要同时对产品加热，提供高温测试环境
要决定是否需要配置加热台，如果确认要配置，温度最高需要到达多少度？ 
     HOT CHUCK最高可做到700度， 
     卡盘为铝制（均温性能好）可以配备水冷装置， 
     快速将已经加热的卡盘降至室温


是否需要对样品进行降温测试
   可根据客户需要进行降温


当设备配置箱和放在高层或多人走动的地方，建议配备防震桌
   防震桌可以防止因外界震动而导致的在测试时引起的误差


探针台需要连接什么测试仪器，测试仪器的接口型号是什么样的
   此项要确定探针座上的线缆接口，例如triaxial,coaxial ,banana，且是公轴还是母轴


在操作探针台的同时，是否需要通过PC的显示同步观察操作影像
   此项要确定是否要配置CCD和图像采集卡 
   一般CCD分为模拟的和数字的，模拟CCD优点是采集图像的速度快，但是像素不高而数字CCD像素可以    达到300万，500万等，功能多，反则采集图像的速度慢，一般建议使用模拟CCD


测试时是否需要对样品另加入信号
   决定是否要在卡盘上增加信号连接点，例如chuck增加圆孔，可以插banana接头将chuck本身做为导    体连接信号


测试时是否需要加大电流，最大电流会达到多少值
   决定是否要将线缆和夹具中的芯线加粗，以防配置不对而在操作时烧坏线缆


是否需要对芯片或者晶圆进行线路修改
   决定是否需要增加激光修复系统，如确定需要，则要确认要多少波长的系统，例如 
   1064NM（NIR）近红外，532（可见光），355（近紫外），266（紫外） 
   则确定要增加对应波长的物镜 


 激光修复系统主要分为两种：HSL-4000系列（强制气冷），HSL-5000系列（水冷） 
  UV3 355nm:Polyimide/Kapton/Silicon/Nitride/SOG/Silicon Dioxide
  Green 532:Copper/Gold/Poly Silicon/Aluminum/Silicon Dixoide
  UV3 355nm:只能配合OBJECTIVE NUV 50X使用 
  Green 532:可以配合任何物镜使用 

  DUV266nm:copper/aluminium/ITO

低温探针台是不需要低温制冷剂的探针台，它可以对器件进行非破坏性的测试，器件的最大尺寸可达到51mm(2inch)。它可以对材料或器件的电学特性测量、光电特性测量、参数测量、high Z测量、DC测量、RF测量和微波特性测量提供一个测试平台。一般来讲，纳米电子材料、量子线、量子点和半导体材料是在CRX- 4K进行测量的比较典型的材料。系统的探针、测试电缆、样品架都有多种类型可供选择，从而满足不同用户的需要。
使用Sumitiomo 公司的4K闭循环制冷机，不需要消耗液氦和液氮，CRX- 4K的温度变化范围4.5K到350K，加上一个可以更换的高温样品架选件，温度变化范围50K到500K。每一个低温样品级都安装温度计和加热器，可以提供快速的热响应，快速迅速回到室温，样品更换非常方便。热辐射屏大大降低了黑体辐射，提高了制冷效率。
系统采用了精心的设计来减低振动，采用各种减震装置阻止机械振动影响测量的性能。在全量程温度范围内，样品的振动小于1um ( X, Y, Z轴)。
CGB最多可安装6个可以进行微调整的探针臂，每个探针臂上的探针都可以进行3维方向上的定位。微波探头可以±5°旋转，使样品可以更好的和探针匹配。DC探针低噪音，低漏电流，热接触好。RF探针可以频率到67GHz.，光线可以从窗口入射，也可以通过光纤导入。专用的探针根据尺寸和材料不同，分为多种类型，探针减少了热质量，优化了和器件的电接触性。每个探针都直接和冷头进行导热，这样就减小了探针对样品的热传递。