厂商 :郑州成越科仪
河南 郑州- 主营产品:
- 箱式炉
- 管式炉
- 石墨烯制备炉
联系电话 :18638223756
商品详细描述
产 品 特 点 |
与普通的CVD系统相比,因为有等离子源的介入,系统的沉积温度相对较低。 配备有滑轨式管式炉可以轻松实现快速降温,实现快速退火。 操控界面可配备液晶操作系统,图文显示,直观易懂,对于设备的使用操作简单易学 该系统最高工作温度接近1150℃,能满足大多数热处理场合。 该设备可具体用于:碳、 ZnO 纳米管或纳米线的制备也可以用于制备单层石墨烯以及各种CVD实验 。 |
等 离 子 发 生 器 |
输出功率: 5 ~500W ± 1% . 射频频率: 13.56 MHz ±0.005% . 反射功率: 最大约200W 阻抗匹配: 自动 |
真 空 泵 机 组 |
双极旋片泵, 极限真空0.1Pa KFD25 快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连. 管内真空可达1Pa 可选:本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。(需要另外计算费用) |
质量流量计 |
三通道的质量流量计(精度0.02% ) :数字显示,自动控制. MFC 1范围: 0~100 sccm MFC 2和3: 0~500 sccm 一个混气罐,底部装有泄废液口. 进气接口: 1/4NPS. 出气接口: 1/4NPS. |
水冷系统 |
水冷法兰要求:水流量 >= 10L/M ,配有专业水冷机组。 |
管式炉 |
炉管直径:80mm 炉管长度:1400mm 炉膛长度:440mm 控温精度:±1℃ 工作温度:≦1200℃ |
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