厂商 :昆山梅花磨料磨具
江苏 苏州- 主营产品:
- 印刷产品系列
- 化工产品系列
- 其他类
产品名称:纳米二氧化硅抛光液 纳米二氧化硅研磨液
基本描述:
该系列硅溶胶产品均是以高纯硅粉为原料,经特殊工艺生产的一种高纯度低金属离子型抛光产品,广泛用于多种材料纳米级的高平坦化抛光,如:硅晶圆片、锗片、化合物半导体材料砷化镓、磷化铟,精密光学器件、蓝宝石片等的抛光加工。具有应用领域广、抛光效率高、杂质含量低、抛光后容易清洗等特点。如:硅片、化合物晶体、精密光学器件、宝石等的抛光加工。可生产不同粒度(10~150 nm)的产品满足用户需求。根据pH值的不同可分为酸性抛光液和碱性抛光液。
产品特性:
1. 高抛光速率,利用大粒径的胶体二氧化硅粒子达到高速抛光的目的(可以生产150 nm)
2. 粒度可控,根据不同需要,可生产不同粒度的产品(10-150 nm)
3. 高纯度(Cu2+含量小于50 ppb),有效减小对电子类产品的沾污
4. 高平坦度加工,本品抛光是利用SiO2的胶体粒子,不会对加工件造成物理损伤,达到高平坦化加工
注:本抛光参数只适用于硅片的抛光。
包 装:500 ml/瓶,25 Kg/桶,或200 Kg/桶。
储 存:储存温度0~35 ℃,在0 ℃以下因产生不可再分散凝胶而失效,温度高于35 ℃条件下储存会促使微生物生长和加速凝胶化,缩短储藏期。上述条件下碱性抛光液可存放两年左右,酸性抛光液可存放半年左右。
应用范围:
1、硅晶圆片抛光;锗片抛光;砷化镓抛光;磷化铟抛光;光学晶体抛光;蓝宝石衬底抛光;LED衬底抛光;
2、硒化锌抛光;光纤连接器抛光;光纤跳线抛光;玻璃抛光;石英抛光,CMP抛光液;