万级洁净棚

序号

洁 净 等 级

Class 100

1

气流流行

垂直流

2

高效过滤器

DOP,过滤效率≥99.997%,

3

最大尘埃浓度

100000粒/ft3(尘埃粒径不小于0.5μm,100000级

4

电 源

AC 220V±10%，50Hz±2 Hz.

5

洁 净 等 级

100级@ ≥0.5um(美国联邦标准209E)

6

平 均 风 速

0.36～0.54m/s（推荐使用风速0.45m/s）

7

噪 声

≤53dB(A)

8

初阻力

≤160Pa

9

终阻力

≥380Pa

10

电 源

AC,单相220V/50Hz

11

外形尺寸

根据用户要求定制