探针台用样品加热台报价

厂商：深圳市森东宝科技有限公司

广东深圳

主营产品：
显微镜
探针座
探针夹具

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商品详细描述

加热台

晶圆样品加热台，低噪声直流加热，双循环水路设计，多种温度选择范围。

样品变温台
特点
低噪声，直流电驱动
隔离套装实现PA级电信测试精度
隔绝水循环保护chuck底座
可以在绝大多数探针台上加装
易于装卸

规格
真空吸附载物台的尺寸	4, 6, 8,英寸直径，1英寸厚度
Chuck 平整度	+ -10 微米
控温范围	常温到300摄氏度
控温精度	0.1℃
温度稳定度	+- 1%

从25 ℃开始升温时间	100 ℃ 150 ℃ 200 ℃ 300 ℃
(4 英寸chuck，单位为分钟：秒 )	1:00 2:30 3:00 4:30
电源	直流
材质	不锈钢

需求
供电	220 VAC, 60Hz
电力消耗	4英寸chuck 700W
	6英寸chuck 1000W
	8英寸chuck 1500 W
真空	-250 mmHg, 7 liter/min
循环水	20 Liter/Min

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