厂商 ：郑州成越科学仪器有限公司
河南 郑州- 主营产品：
- 高频感应炉
- 箱式电阻炉
- 真空管式炉
联系电话 ：18236913712
商品详细描述
主要部件的功能及其工作原理
1 电热炉（工艺管）
电热炉是特制的高可靠性的发热体，是经过特殊工艺制成，它对恒温区的长度、精度以及稳定度提供了基础，是影响成膜速率和均匀性的必要条件之一。工艺管具有口径大、壁厚均匀无气泡的优良性，它水平置于炉体的中央，两端配有密封法兰，可生产8英寸圆片、6英寸方片，同时经特殊磨口为真空密封提供可靠保证。
2 取放舟系统
取放舟系统采用软着炉的方式，即将石墨舟放到反应管内部后，推舟机构将退出，自动门关上。 载片舟是经特殊设计，在X轴、Y轴、Z轴三个方向可微调，再精加工而成。它直接影响到电场的分布、等离子的产生、气流的走向、膜的品质。成膜压力甚至气体的流量都与此结构有关。所以是本设备的核心部件。
3 气路单元
气路单元是一个独立体，它的所有使用元器件都是进口产品，具有控制精确、动作可靠，布局合理，为安全生产提供一个先决条件。
4 PLC及计算机控制
本台设备PLC做工艺自动控制和安全互锁，计算机提供人机交互，工艺编辑，各种过程实时显示，参数实时时录等。装片取片由人工操作。同时有多种报警系统，如超温报警、断偶报警等。
5 真空系统
真空系统是本台设备的关键之一，它是由罗茨泵机组、电动调节阀、电磁挡板阀、压力传感器、真空管道等组成。
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产 品 特 点 |
与普通的CVD系统相比，因为有等离子源的介入,系统的沉积温度相对较低。 配备有滑轨式管式炉可以轻松实现快速降温，实现快速退火。 操控界面可配备液晶操作系统，图文显示，直观易懂，对于设备的使用操作简单易学 该系统最高工作温度接近1150℃，能满足大多数热处理场合。 该设备可具体用于：碳、 ZnO 纳米管或纳米线的制备也可以用于制备单层石墨烯以及各种CVD实验 。 |
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等 离 子 发 生 器 |
输出功率: 5 ～500W ± 1% . 射频频率: 13.56 MHz ±0.005% . 反射功率: 最大约200W 阻抗匹配: 自动 
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真 空 泵 机 组 |
双极旋片泵, 极限真空0.1Pa KFD25 快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连. 管内真空可达1Pa 可选：本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。（需要另外计算费用） 
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| 质量流量计 |
三通道的质量流量计(精度0.02% ) ：数字显示，自动控制. MFC 1范围: 0~100 sccm MFC 2和3: 0~500 sccm 一个混气罐，底部装有泄废液口. 进气接口: 1/4NPS. 出气接口: 1/4NPS. |
| 水冷系统 |
水冷法兰要求：水流量 >= 10L/M ，配有专业水冷机组。
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| 管式炉 |
炉管直径：80mm 炉管长度：1400mm 炉膛长度：440mm 控温精度：±1℃ 工作温度：≦1200℃  |
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