气相沉积炉

※产品用途：

   CNT真空管式气相沉积炉主要为应用在半导体,石墨烯、纳米材料、碳纤维、碳化硅、镀膜等新材料新工艺领域。

※产品结构：   

1、可通入多种气体，配100ml混气罐;

2、采用三温区独立控温，可实现不同温度段同时工作；

3、炉体采用不锈钢密封法兰（铰链结构），耐高温、耐腐蚀；
4、保护管采用高纯石英管或刚玉管 ，气管采用卡套或VCR接口，安装方便；

5、炉体采用双层空气隔热技术，配有自动冷却风扇，降低炉体外壳温度；

6、控制系统采用进口40段程序控温，控温精度±1℃，移相触发、可控硅控制；

7、真空系统6.67pa(机械泵)或6.67pa×10-3pa(扩散泵机组)

8、选配无纸记录仪，记录、存储、显示当前或历史温度曲线，也可通过U盘转存入电脑。

8、选配西尼特智能温控软件，通过电脑进行全程监控和操作；