厂商 ：东辉制冷技术有限公司
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R-14作为一款特种超低温制冷剂，主要应用于要求温度非常低的深冷设备中（包括科研制冷、R14医用制冷剂等），R14同时也是超低温配合冷媒的重要组分。
四氟化碳（四氟甲烷）是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
2理化性质:
（Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane ），亦称四氟化碳、全氟化碳，PFC-14（R-14）。分子式：CF4。
相对分子量：88.00。
在常温下，四氟甲烷是无色、无臭、不燃，不溶于水的可压缩性气体。
沸点：-128℃，熔点：-183.6℃。
液体密度（-130℃）1.613g/cm3，临界温度-45.67℃，临界压力3.74Mpa，蒸气压（-150.7℃）13.33kPa，介电常数（25℃，0.5Mpa）1.0006。挥发性较高，是最稳定的有机化合物之一，在900摄氏度时，不与钢、镍、钨、钼反应，仅在碳弧温度下缓慢分解，微溶于水，在25摄氏度及0.1Mpa下其溶解度为0.0015%（重量比），然而与可燃性气体燃烧时， 会分解产生有毒氟化物，危险性类别为第2.2类不燃气体。
3包装运输:
四氟甲烷对金属、合金不腐蚀，可用无缝钢瓶和铝合金容器装运，充瓶压力通常低于12.5Mpa，按压缩气体运输，钢瓶每五年检验一次，国外规定可用汽车、火车、轮船和飞机运输，国内目前无规定。钢瓶包装（14MPa）（DOT-3AAGB-5099)，阀门（CGA-580/590,QF-2），32kg/48.8L，30kg/43.3L ，5kg/8L，2.5kg/4L。
4质量标准:
产品质量标准（QUALITY STANDARD FOR CF4）
|
指标名称 |
高纯级 |
优级品 |
一级品 |
|
含量，%（v/v） ≥ |
99.99 |
99.9 |
99 |
|
氮气，%（v/v） ≤ |
0.002 |
0.03 |
0.3 |
|
氧气，%（v/v） ≤ |
0.0005 |
0.01 |
0.1 |
|
水份，ppm ≤ |
5 |
5 |
10 |
|
二氧化碳，ppm ≤ |
5 |
10 |
800 |
|
氟化碳，ppm ≤ |
15 |
20 |
- |
|
酸度，（HF）ppm ≤ |
0.1 |
1 |
- |
|
六氟化硫，ppm ≤ |
- |
- |
600 |
