厂商 :天津铭锐创科技有限公司
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AYS-MV(DM)直流溅射镀膜大功率开关电源
体积小、重量轻、效率高、0—1200V、1KW—500KW
简要介绍
爱因森真空溅射镀膜电源具有超高的准确性、高精确度、高稳定性等优良的电子特性,配备强大的打弧管理系统,能有效抑制靶材弧光放电, 具有极佳的负载匹配能力。该电源是专业用于真空溅射镀膜的电源设备,输出电压及电流独立
可调,恒压恒流自动转换,电源具备极其优越的抗打火短路性能。电压0—1200V,功率0—500KW.
性能特点
.多种规格,电压0—1200V,功率0—500KW之内任选,特殊规格可以定做,时间周期短。
规格型号 |
电压 |
功率 |
是否现货 |
AYS-8MV35 (DM) |
800V |
35KW |
0—200KW现货 |
AYS-8MV70 (DM) |
800V |
70KW |
0—200KW现货 |
AYS-8MV100 (DM) |
800V |
100KW |
0—200KW现货 |
AYS-10MV35 (DM) |
1000V |
35KW |
0—200KW现货 |
AYS-10MV70 (DM) |
1000V |
70KW |
0—200KW现货 |
AYS-10MV100(DM) |
1000V |
100KW |
0—200KW现货 |
AYS-12MV35 (DM) |
1200V |
35KW |
0—200KW现货 |
AYS-12MV70 (DM) |
1200V |
70KW |
0—200KW现货 |
AYS-12MV100(DM) |
1200V |
100KW |
0—200KW现货 |
.输出电压可以随不同的靶材变化,智能打弧管理系统和直流电源控制打弧检测时间小于3微秒
.自动稳流功能,可在电网电压和负载大幅度变化的情况下保证电源高效稳定的工作,充分保证镀膜工艺的重复性,精确控制膜厚和减少靶材用量
.针对新靶清洗时存在的频繁打火现象,设计了抑制打火自动保护功能,既保证了靶面清洁的工艺的稳定性,又提高了靶面清洁的速度。
.具有电压陡降特性,可充分满足磁控溅射的特殊要求
技术指标(所有技术参数的更改以客户定制数据或者公司最新数据为准)
电压电流调节范围 |
电压5%-10%额定值---额定值连续可调,电流0-额定值连续可调(恒压恒流自动转换) |
源效应 |
CV<0.5% CC﹤0.5% (输出为最高电压,最大电流时测量) |
负载效应 |
CV<0.5% CC﹤0.5% (输出为最高电压,最大电流时测量) |
纹波电压 |
CV<1% CC﹤1% (输出为最高电压,最大电流时测量) |
显示方式 |
显示为4位半LED数码屏(依客户要求可做液晶显示屏) |
本地控制 |
十圈精密电位器 |
远程控制 |
RS232 /RS485串行通信标准配置上位机连接,通过设定的通讯协议控制电源的各种状态 |
模拟控制 |
GPIB隔离型模拟控制,0-5V或4-20mA信号控制(选配) |
保护方式 |
短路,过压,过流,过温 |
短路保护 |
负载打火短路保护,负载短路可以开机 |
交流输入电压 |
三相AC342-420V,50HZ |
效率 |
效率大于0.92 |
温度 |
存储-40/85度, 工作-10/40度 |
湿度 |
10-80%(非冷凝,相当于环境温度25度) |
标准与规范 |
GB2894-2008 安全标志及其使用规则 GB4208-2008 外壳防护等级 |
订货信息:各种规格定做请致电13752258468孙工,我们将按您的要求提供方案和报价
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