电性测试探针台专业供应商

  探针台的维护

高精度探针台
　　目前世界出货量第一的型号吸收了最新的工艺科技例如OTS，QPU和TTG相关技术，这种全新的高精度系统为下一代小型化的设计及多种测试条件提供保证。 
　　特性1：OTS-最近的位置对正系统（光学目标对准） OTS通过对照相机相对位置的测量来保证其绝对位置的精度。这是非常引人注目的技术，来源于东京精密的度量技术。OTS实现了以自己为参照的光学对准系统。 
　　特性2：QPU-高刚性的硅片承载台（四方型系统）　为了有效的达到接触位置的精度，硅片承载台各部分的刚性一致是非常重要的，UF3000使用新的4轴机械转换装置（QPU），达到高刚性，高稳定度的接触。

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