微型电路光刻掩膜板激光蚀刻机

厂商 :广州瑞通激光科技有限公司销售部

广东 广州
  • 主营产品:
  • 钟表光纤激光打标机
  • 激光焊接机
  • 激光切割机
联系电话 :13450458486
商品详细描述

RT-600型激光蚀刻机采用瑞通激光自主研发的多轴激光控制软件,可支持①CCD视觉自动寻靶②XY平台精密运动大尺寸一次性无缝拼接③激光及扫描振镜精密加工同步进行,一次性可加工600mmx600mm范围,十年的软件技术沉淀,成熟稳定的软件技术,编辑功能强大,可实现大图形自动分切或手动分切选择,拼接精度高达≤±3um。
.瑞通激光控制软件紧跟电容屏行业工艺应用实际需求,CCD视觉定位技术功能强大且编辑人性化-----根据电容屏行业印刷网板张力变形的特点,轻松支持多靶位,任意设定抓耙功能,500万像素单点抓耙时间小于1秒钟,定位精度≤±3um。
.特殊的光学设计保证了单次扫描范围130mmX130mm情况下最小线宽25um,强大的软件功能支持银浆线路和ITO可视区线路一次性分层设置参数加工完成,轻松可实现目前主流单层多点电容屏SenSor线路蚀刻,激光蚀刻机5万小时无耗材,免维护,成本低,替代黄光制程首选。
.激光蚀刻机为干式蚀刻,加工制程简单,所有加工过程均由软件自动控制,产品一致性高,良率高达98%,一名员工即可操作,加工制程中不产生任何酸碱污染,并且同时可以蚀刻银浆。ITO、钼铝钼、铜、镍等金属膜层,基材可分PET、玻璃、陶瓷。

主要技术参数

参数

 RT-600

 激光器类型  355nm   1064nm    可选视产品材质和最小线宽而定
 最大激光功率  20W
 激光最小聚集光斑

 15um   (355nm 单块最小区域 200x200mm)
 25um   (1064um 单块最大区域 130x130mm)

 激光单次最大工作范围  130x130mm 25um线宽     170x170mm   40um线宽
 激光蚀刻最大工作范围  600x600mm   任意自供并接
 激光蚀刻路线拼接精度  ≤ ±3um
  激光蚀刻速度  ≤6000mm/s   材质:ITO金属层膜   ≤4500mm/s 银浆层膜 
 XY平台最大移动速度  800mm/s  1G加速度
 XY平台重复精度   ≤ ±1um
 XY平台定位精度   ≤ ±3um
 CCD定位精度   ≤ ±3um支持多靶位任意设定功能
 整机供电  2.5Kw/Ac220v/50Hz
 冷却方式  风冷

 

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