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厂商：深圳市森东宝科技有限公司

广东深圳

主营产品：
显微镜
探针座
探针夹具

联系电话：18890189035

商品详细描述

1.机台简介

本规格书为关于镭速激光科技出产且针对 TFT-LCD 面板设计的雷射修复系统。

本设备是采用高稳定度雷射光学系统搭配精密机构加工控制系统，Glass/PET/Film 等基板上特定材料层进行切割，熔接。

加工件为采用人工取放模式。

设备包含:

1.PD雷射发射系统(含 Laser Head、Laser Controller)

2.光学影像系统 (专用显微镜组、CCD、雷射加工/观测物镜、光源)

3.X/Y/Z 伺服驱动系统

4.WD控制系统

5.电控系统

6.气压防震系统

7.精密钢构底座

8.设备外罩等所组成。

2.面版尺寸

Panel Size: 70”(1600mm x 1000mm) Max.

入料方式: 长边入料

※参考规格,按客户提出产品尺寸确认

3.机台规格

3-1 X/Y/Z轴驱动系统

项目	说明
X、Y轴有效行程	1600mm x 1000mm
X、Y轴驱动形式	伺服马达系统搭配精密螺杆
X/Y轴最小分辨率	1um/pulse
Z轴最大行程	Within 50mm
Z轴驱动形式	伺服马达系统搭配精密螺杆
Z轴最小分辨率	0.1um/pulse

(按实际设计配置为准)

3-2 雷射头

项目	说明
雷射种类	ND:YAG Laser
雷射波长	1064nm/532
雷射功率(最大输出)	1064nm︰>10 mJ/pulse 532nm：>3 mJ/pulse
最大Peak Power	0.7mW
波幅	8-6 nsec
发振频率	1~20 Hz
冷却方法	风冷式/水冷式
输出能量控制	1000 steps for 0~100% ※Hi/Low switch-able
Flash Lamp Life time	1 年或＞30,000,000 shots
雷射头保修期	1 年 (自设备move in 日起算)
界面	RS-232

(按实际雷射配置规格为准)

3-3 Laser Slit

项目	说明
	物镜倍率	加工尺寸
修补尺寸	NIR 50x 物镜	min: 3um x3um
修补尺寸	NIR 20x 物镜	max: 120um x 120um

(按实际配置规格为准)

3-4 光学影像系统

项目	说明
显微镜	观测/雷射加工专用型
CCD	1/2”Color CCD
落射光源	高亮度卤素光源系统(or LED)
透射光源	高亮度卤素光源系统(or LED)
物镜切换系统	4孔/电动切换式(Linear Type)

(依实际配置规格为准)

3-5 精密物镜组

项目	说明
M Plan APO 5 x	观察
M Plan APO 10 x	观察
M Plan NIR 20 x	观察/雷射加工
M Plan NIR 50 x	观察/雷射加工

(依实际配置规格为准 )

3-8 加工承载台

项目	说明
主要功能	工件承载使用
材质	精密研磨光学玻璃平台(Glass Stage)
尺寸	1600mm x 1000mm
底座	精密钢构底座

(依设计配置规格为准)

3-9 防震系统

项目	说明
防震形式	气压式防震
自然频率(垂直/水平)	2~2.3 Hz
供气规格	4~6 kg/? (Compressed or Nitrogen Gas)

(设备需求地板防震等级：B 等级)

ATS LR series using in SEMI standard vibration specV.C.B. as below.

Should meet the following condition even when operating surrounding equipments

3-10 PC规格

项目	说明
PC	工业级计算机(IPC)
CPU	2.4G Hz
OS	Windows System (Windows XP)
HD	500G *1
RAM	2G
Language	简中/繁中/英文
Monitor	19”广视角液晶荧幕
Key Board	双飞燕
Mouse	双飞燕

3-11选配项目

项目	说明
Power Meter	雷射能量测量使用
UPS	IPC 不断电系统

4.操作模式

4-1 软件功能

(1) 雷射发射模式操作功能

提供 Point / Line / Block 三种雷射加工模式，将 Recipe 中的雷射参数，依使用者在画面中教导预修补的路径与型式，教导完后作一次性的快速修补

(2) 雷射手动操作击发功能

(3) 快速荧幕画面鼠标点击移动

(4) Recipe 存档功能

提供有关雷射参数/基板参数 Recipe 存档功能

(5) 鼠标拉框开启 Slit 功能

利用鼠标在荧幕上做拉框的动作直接开启 Laser 对应的 Slit 大小

(6) 使用者登入/登出 (权限管理)

(7) 上下光源手动调整

(8) 上下光源配合各倍率设定自动调整

(9) 基本量测工具

(10) 图片 Image 存档功能

(11) 镜头切换自动校正功能

(12) 影像参数设定功能

a. 明亮度设定

b. 对比度设定

c. 饱和度设定

d. 对比度设定

(13) 操作系统语言选择

a. 简中

b. 繁中

c. 英

5.公用设备

5-1 电源

项目	说明
组数	1 组
电源	3 phase /AC 220 V ± 10%, 20A
电源接头	M6 端子台
接地线	JIS 等级1, 8mmsq 以上

6.外观

项目	说明
尺寸	Within 2000mm(W) x 1400mm(D) x 1800mm(H)
重量	Within 2500kg

7.使用环境

项目	说明
Temperature	10-35 C
Humidity	30-70% (No dew drop is allowed)
Clean level	Class 10,000

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厂商 ：深圳市森东宝科技有限公司

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