CL-6晶圆测试探针台

型号:CL-6

分析探针台

特点

同轴驱动CHUCK

可以升级做射频测试

20X~2000X 光学显微放大

无后座力移动

可以选择显微镜倾仰装置或者气动升降装置

规格

真空吸附型Chuck

6" 不锈钢

Chuck X-Y轴行程

6" x6"

Chuck 旋转角度

0~360 度

Chuck升降

4mm

针座平台

可以放置8个针座

显微镜X-Y轴行程

2" x2"

需求

电力

220 VAC, 60Hz

真空

-250 mmHg, 7 liter/min

尺寸

850mm长 x 680mm宽 x 720mm高 (带显微镜)

重 100 Kg(带显微镜)

可选附件

激光切割

探针卡夹具

加热台

高低温样品台

防震桌

显微镜气动升降装置

显微镜暗场 / DIC/Normarski 检测

光强/波长测试接口部件

射频测试探头和线缆

有源探头

低电流/电容测试

高压测试

CCD视频系统

液晶漏电分析套装

屏蔽箱

大电流测试套件