石墨舟装片房

       本设备是用于太阳能光伏行业与PECVD承载车配套，装去硅片，配置高效过滤器，空气通过高效过滤器后，均流层送出，使洁净的空气气流垂直单向送入装片工作区，从而保证了工作区达到工艺要求的洁净度。

主要特点：

1：能够确保与PECVD石墨舟承载车准确定位；

2：采用SUS304不锈钢制造，整机结构坚固可靠；

3：初、高效空气过滤器过滤后的净化空气根据需求定时向操作区内循环送风；

4：确保工作区域内达到工艺的洁净度；

5：PECVD承载车在里面可倾斜15度或旋转180度；