Aerotech精密转台

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  • 直线电机
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商品详细描述

Aerotech直驱机械轴承旋转平台

Aerotech ADRT直驱旋转平台

1.高扭矩输出,直驱无刷伺服电机
2.
无接头设计,速度稳定性突出
3.
突出的抖动和跳动性能
4.
直联高精度旋转编码器
5.
宽大的通孔直径
直径 146 - 260 mm
精度 ±30 arc sec
负载 30 - 173 kg

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Aerotech ADRS直驱旋转平台

1.高扭矩输出,直驱无刷伺服电机
2.
无接头无槽电机设计,速度稳定性突出
3.
直联高精度旋转编码器
4.
超低的外形将工作高度减到最小
直径 95 - 190 mm
精度 6 arc sec
负载 16.9 - 56.2 lb

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Aerotech ARMS直驱旋转平台

1.设计来生成高精确运动
2.
在全部360°范围都能达到0.0001%速度稳定性
3.
定位分辨率0.02角秒
4.
有效负载230 kg
5.
完整的导电环和不固定的旋转管套节
6.
可选直驱无刷电机以实现高转速和高扭矩输出
孔径 8 mm - 25 mm
分辨率 0.02 - 2 arc sec
精度 ±2.5 arc sec

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AAerotech  LAR直驱旋转平台

1.5种不同的孔径尺寸:100 mm, 150 mm, 200 mm, 250 mm, 325 mm
2.
持续或有限的行程
3.300-1000 lb
的高轴向负载能力
4.
宽大的轴承能提供较高的有效负载和瞬间负载能力
5.
卓越的精度和重复定位精度
6.
抖动和跳动小
7.
无接头电机提供平滑运动
8.
无回差效应
9.
精度不随齿轮的磨损而改变
10.
每分钟45-300转的持续转速
11.
有效负载必须在旋转中心的应用的完美选择, AZ滚动万向架应用的重要选择
12.10-6 torr
真空环境选项可选
最大孔径 325 mm
精度 ±3.9 arc sec
负载 6463 N

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Aerotech  ADR175/240直驱旋转平台

1.直驱无刷伺服电机
2.
无接头设计,速度稳定性突出
3.
突出的抖动和跳动性能
4.
直联高精度旋转编码器
5.
高精度角接触轴承
直径 175 mm
精度 ±5 arc sec
负载 25 kg
直径 240 mm
精度 ±1 arc sec
负载 135 kg

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Aerotech  ADR160直驱旋转平台

1.直驱无刷伺服电机
2.
无接头设计,速度稳定性突出
3.
突出的抖动和跳动性能
4.
直联高精度旋转编码器
5.
高精度角接触轴承
直径 160 mm
精度 ±5 arc sec
负载 25 kg

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Aerotech ARA1000旋转执行器

1.高负荷传送能力
2.
高刚性
3.
直驱无刷无槽伺服电机
4.
宽大的孔径
5.
配置AVL1000很容易实现多轴的应用
直径 342.9 mm
精度 ±2 arc sec
负载 45 kg

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ADR75直驱旋转平台

1.直驱无刷伺服电机
2.
无接头设计,速度稳定性突出
3.
突出的抖动和跳动性能
4.
直联高精度旋转编码器
5.
高精度角接触轴承
直径 75 mm
精度 ±5 arc sec
负载 3 kg

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Aerotech  ASR1000直驱旋转平台

1.精度高,动态性能好
2.
方便产品进给和通过的大孔径
3.
低惯量轴可以实现最大的加速度
4.
最优化包装设计使平台重量最小
5.
直驱无刷伺服电机
6.
直联旋转编码器
7.
高精度角接触轴承
直径 19 mm
精度 ±15 arc sec
负载 3.0 kg

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Aerotech  ASR1100直驱旋转平台

1.完整的气动套爪卡盘
2.ER16
夹头接受0.5 mm to 10 mm外经的管
3.
通孔适合产品进给和通过
4.
有刻线的夹头保持器能快速更换刀具
5.
常闭夹头配置
6.
低惯量轴可以实现最大的加速度
7.
直驱无刷电机和编码器
8.
免维护,无摩擦旋转连接
最大孔径 14 mm
精度 ±15 arc sec
负载 3 kg

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Aerotech  ASR1200直驱旋转平

1.ER16夹头可夹外经到到5.8 mm的管
2.
集成的可更换O形圈的水套适合湿加工应用
3.
通孔方便产品进给和通过
4.
有刻线的夹头保持器能快速更换刀具
5.
低惯量轴可以实现最大的加速度
6.
直驱无刷电机和编码器
7.
免维护,无摩擦旋转连接
最大孔径 5.8 mm
精度 ±15 arc sec
负载 3 kg

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Aerotech  ACS旋转平台

1.集成气动ER夹头和卡盘或3瓜卡盘.
2.
通孔方便产品进给和通过
3.
常闭或常开夹子选项
4.
低惯量轴可以实现最大的加速度
5.
直驱无刷电机和编码器
6.
完整的旋转连接
最大孔径 30 mm
精度 ±15 arc sec
负载 140 kg

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Aerotech  ACS LP系列旋转平台

1.完整的气动ER套爪卡盘
2.
通孔方便产品进给和通过
3.
低惯量轴可以实现最大的加速度
4.
完整的旋转连接
5.
超低的外形将工作高度减到最小
最大孔径 30 mm
精度 ±6 arc sec
负载 41 kg

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ADRH直驱旋转平台

1.低外形适合对空间敏感的应用场合
2.
直驱无刷无槽伺服电机
3.
直联高精度旋转编码器
直径 104.8 mm
分辨率 3.6 arc sec
最大转速 2500 rpm

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Aerotech   ANT-20RA 旋转执行器

1.0.045角秒的分辨率
2.
紧凑的结构设计
3.
巨大的转角范围
4.
非接触直接驱动
5.
高转速和高分辨率
6.
卓越的定位稳定性
7.
免维护
8.20
度的行程转角
精度 ±10 arc sec
负载 2.5 kg

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WaferMax T 旋转平台

1.低外形适合对空间敏感的应用场合
2.
直驱无刷无槽伺服电机
3.
直联高精度旋转编码器
4.25
毫米孔径

 

 

Aerotech 2轴气浮平台

Aerotech  ABL1000气浮平台

1 专为高性能校准和装配应用设计
2
分辨率达2nm的直线编码器反馈
3
闭环分辨率可达1nm(使用A3200控制器)
4
全预加负载气浮导轨(空气轴承)
5
低噪音线性放大器
6
全部非接触设计
行程 ≤150 mm
精度 ±0.20 um
重复定位精度 ±0.05 um
直线度 ±0.25 um
平面度 ±0.25 um

 

Aerotech  ABL3600气浮平台

1 专为扫描显微镜/掩模/晶片检测独特应用设计
2
双轴,大孔,开放式结构
3
非接触直线编码器反馈,精度高
4
双直线电机驱动X Y
5
所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
行程 ≤250 mm
精度 ±1 um
重复定位精度 ±0.20 um
直线度 ±0.50 um
平面度 ±1 um

 

Aerotech ABL8000气浮平台

1 专为有效负载大,负载重心偏离机架中心线的应用设计
2
十字交叉结构,刚性稳定性引人注目,几何特性极好
3
所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
4
行程达1
5
直线编码器或激光干涉仪反馈
6
可集成包括花岗岩的XY子系统
行程 ≤1000 mm
精度 ±0.50 um
重复定位精度 ±0.20 um
直线度 ±0.40 um
平面度 ±0.40 um

 

Aerotech  ABL9000气浮平台

1 世上最高性能的气浮平台,适用于晶片,平板显示,光学检测和加工等要求苛刻的场合
2
所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
3
行程达1.2X1.2
4 Y
轴双直线电机驱动
5
直线编码器或激光干涉仪反馈
6
主动控制偏转
行程 ≤1200 mm
精度 ±0.50 um
重复定位精度 ±0.10 um
直线度 ±0.50 um
平面度 ±0.50 um

 

Aerotech  AHL9000直线电机平台

1 专为晶片检测,平板显示加工和光学检测及制造应用设计
2
扫描轴是空气轴承,步进轴是机械轴承
3
行程达1.2X1.2
4
双直线电机驱动步进轴
5
直线编码器或激光干涉仪反馈
行程 ≤350 mm
精度 ±1.0 um
重复定位精度 ±0.20 um
直线度 ±0.60 um
平面度 ±0.60 um

 

 

 

 

Aerotech  ABG10000气浮平台

1 气浮导轨实现超平滑运动
2
所有轴都预加载荷
3
下面轴采用双无刷直线伺服电机驱动
3
行程达1 m x 1 m
4
非接触直线编码器(光栅)
5
可选Z ,隔振,机械底座和控制箱
6
适用于高速拾取/放置,自动化装配,视觉检测,点胶机,高精度检测.
Travel
行程 ≤1000 mm
Accuracy
精度 ±2.0 um
Load
负载 84 kg

 

Aerotech  FiberCouple 130平台

1 同一条导轨上两个运动平台
2
独立或并列运动
3 2.5nm
分辨率
4
非接触直线电机驱动
5
交钥匙的配套驱动和控制系统
6
适合辅助轴

 

Aerotech VascuLathe ACS/ASR

1.直线平台与旋转平台的高度集成化
2.ER
筒夹系统使材料箝位自动化
3.
可选夹紧装置夹紧管
4
先进的控制系统结构
5.
单或双主轴结构
6.
可选择湿切割
7.
拥有两项专利Patent No. 7,038,334 Patent No. 7,105,956

 

Aerotech LaserTurn

1.直线平台与旋转平台的高度集成化
2.
气动3爪卡盘或ER筒夹
3.
较大的通孔可以使产品通过
4.
可选择在前后加工的平台
5.
直接驱动直线和旋转电机技术

 

Aerotech PlanarHD气浮平台

1 最大2 m/s扫描速度和5g加速度的输出
2
最快的转向和最小的稳定时间
3
主动偏转控制
4
直线光栅或激光干涉仪反馈
5
行程1.2 m x 1.2 m

行程 ≤12 00 mm
精度 ±300 nm
重复定位精度 ±50 nm
分辨率 0.25 nm

 

Aerotech APT 系列平转和倾斜组合转台

1 满足安全,国防建设和监测全球市场的需要
2
把先进的高精密机械与业界领先的控制技术结合在一起
3
惯性稳定
4
包含内置滑环,可连续旋转360 °
5
高定位精度和速度性能
6
易于安装和系统集成的集成电路
7
低维护,高可靠性提供最低的拥有成本
平转: 最高速度180 ° /秒,持续360 °
倾斜: 最高速度180 ° /秒,范围为± 95 °
位置分辨率:7.6弧秒
定位精度: 120弧秒
有效载荷: 35公斤

 

 

Aerotech AOM360D

1两轴均360°连续旋转

2轴定位精度和重复性高

3轴抖动小,正交性好

4直驱无刷伺服电机

5高精度感应反馈

6无嵌齿效应设计,突出的速度稳定性

7负载直径达500毫米

8真空兼容机型可选

分辨率.27µrad

孔径范围203.2mm-508.0mm

负载7.0kg-50.0kg

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