厂商 :爱加真空科技有限公司
广东 东莞市- 主营产品:
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高真空设备维修保养,真空设备维修保养公司的最主要要点是什么呢?真空镀膜设备保养时应当注意什么的细节呢??东莞爱加真空科技可24小时为您排忧解难,让您不再为真空镀膜设备维修保养的问题所困扰。
高真空设备维修保养,真空设备维修保养公司
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下面就其维修保养中注意的事项,简单加以陈列。
1.平时 ,整个系统要保持真空状态,工作前才充入气体,不要是真空室长期暴露在大气中;
2.经常检查胶封是否良好,特别是动密封圈,定期给动密封处加上真空脂
3.定期检查电气元件,清除灰尘,更换烧坏的元、器件;
4.在真空状态下不得拆卸扩散泵和阀门。拆卸的方法是:先将整个真空系统抽至真空状态,注意不要加热扩散泵,用手动打开精抽阀,然后按放气阀按钮让系统充入大气,当真空室充满大气后就可进行拆卸扩散泵和阀门;
5.停旋片泵、滑阀泵时,要注意电磁阀(或气动阀)是否向泵腔充气,否则会引起回油,污染真空管道。因此,电磁阀(或气动阀)充气动作失灵时,必须及时进行修理或更换;
6.对于偏北地区,在寒冷季节,夜间和教长时间停机时,必须用压缩气体将冷却水赶出冷却管道、泵体,以免冻裂冷却水管(套)、泵体;
7.精抽系统要待真空压强达到3Pa后才能工作,若在过高的压强下进行抽气,会使扩散泵油氧化,降低抽气能力,缩短泵油的使用寿命;
8.为保证真空镀膜设备有清洁的工作环境,滑阀泵排出的气体必须用管道将它排出工作房之外,因为从滑阀泵排出的气体含有很多微小的有雾。若不把它排出工作房,则在装被镀的工件时,尽管工件表面经过认真的清洁处理,仍然很快就会被微小的油雾所污染,严重影响膜层的质量;
9.在工作过程中不得断水,采用的冷却水必须清洁,不得使用硬水或浊水作为冷却水,否则会使冷却水管沉积一层水垢,影响冷却效果。
10.在工件架旋转时500MM内严禁站人,待停止后方可靠近!!!
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