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今天，真空技术已经能获得从1000毫巴带10-13毫巴的超真空。为保证稳定、高质量的生产和工艺，必须采用精确的测量和控制仪器来检测与调整所需要的工作压强。
欧瑞康莱宝公司作为全系列的真空设备供应商，拥有应用各种工作原理的真空计，其测量范围从1000毫巴到10-12毫巴，覆盖了15个数量级，可以满足各种真空工艺的要求。欧瑞康莱宝的真空计家族包括：
- 用于测量粗真空的各种工作原理的机械指针式真空表。
- 各种间接测量的数显真空规，它们是：
- 热电阻真空规（皮拉尼规） TTR91/TTR91S/TTR96/TTR96S
- 冷阴极电离真空规（潘宁规） PTR225
- 薄膜电容规 CTR100/CTR91
- 薄膜/皮拉尼复合规 TTR100/TTR100S
- 冷阴极电离/皮拉尼复合规 PTR90
- 热阴极电离/皮拉尼复合规 ITR90
- 便携式真空表TM90/TM100
- 新型Center和Display系列真空仪表
准确、轻便的Center和Display系列真空仪表显示范围从1000毫巴到10-10毫巴，具有数显液晶显示器，可快速、直观、精确地反映真空系统的状态。数显读数可以用毫巴、托、帕和微米汞柱四种单位来显示。
另外，欧瑞康莱宝公司还拥有可以测量10-12mbar的超高真空测量仪表，这就是著名的IM540。
德国莱宝真空计|莱宝真空计|真空计TTR91Technical Data TTR Transmitter
TTR 91 / TTR 91 S / TTR 96 S
Measurement range mbar (Torr) 5 x 10-4 to 1000 (3.75 x 10-4 to 750)
Measurement uncertainty 15 % in the range 1 x 10-3 to 100 mbar (0.75 x 10-3 to 75 Torr)
Principle of measurement Thermal conductivity according to Pirani
Supply voltage 14 to 30 V DC
Hum voltage ≤ 1 Vpp
Power consumption VA ≤ 1
Storage temperature range °C -20 to +65
Nominal temperature range °C 5 to 60
Max. rel. humidity % n.c. ≤ 80
Protection class IP 40
Weight, approx.,
for DN 16 KF kg (lbs) 0.08 (0.18)
Sensor Exchangeable sensing cell
Degassing temperature, max. °C 80 (250 with long tube)
Dead volume, approx. cm3 2 (10 with long tube)
Materials in contact with the medium Stainless steel, Ni, glass, NiFe
- filament Tungsten (TTR 91, TTR 91 S) or nickel (TTR 96 S)
Over-pressure rating, abs. bar 10
Signal output (Ra > 10 kΩ) 0 to 10.3 V DC
Measurement signal 1.9 to 10 V DC, corresp. 5 x 10-4 to 1 x 103 mbar
1.286 V/decade, logarithmic
Status signal Error: ≤ 0.5 V
Trigger (only TTR 91 S / TTR 96 S) Normally open relay contact
Adjustment range mbar (Torr) 2 x 10-3 to 500 (1.5 x 10-3 to 375)
Hysteresis 10 %
Rating 30 V, 0.5 A DC, floating
Error status Relay contact open
Status indicators (only TTR 91 S / TTR 96 S) Trigger (active): Green LED
Electrical connection FCC-68/RJ45 socket, 8 way with shield
Cable length, max. m 100
Oerlikon Leybold Vacuum Full Line Catalog 19 C16
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