钛铝合金靶材

钛铝合金靶材

1.高纯氧化物薄膜材料（溅射靶材、颗粒、压片）

氧化物 一氧化硅SiO 二氧化铪HfO2 二氧化锆ZrO2 二氧化钛TiO2
OXIDE 一氧化钛TiO 二氧化硅SiO2 三氧化二钪Sc2O3 三氧化二钛Ti2O3
三氧化二铝Al2O3 五氧化二铌Nb2O5 五氧化二钽Ta2O5 五氧化三钛Ti3O5
三氧化二铟In2O3 二氧化铈CeO2 氧化镁MgO 氧化镨Pr6O11
三氧化钨WO3 氧化钐Sm2O3 氧化钕Nd2O3 氧化铋Bi2O3
氧化锑Sb2O3 氧化钒V2O5 氧化镍NiO 氧化锌ZnO
氧化铁Fe2O3 氧化铬Cr2O3 氧化铜CuO
2.高纯氟化物薄膜材料（颗粒、压片）
氟化物 氟化镁MgF2 氟化镱YbF3 氟化钇YF3 氟化镝DyF3
FLUORIDE 氟化钕NdF3 氟化铒ErF3 氟化钾KF 氟化锶SrF2
氟化钐SmF3 氟化钠NaF 氟化钡BaF2 氟化铈CeF3
3. 特种薄膜材料（溅射靶材、颗粒）——应用太阳能、半导体、磁性元件等，热压、热等静压粉末冶金溅射靶材


SrAl2O4 SrAlO4 SrHfO3 SrPrO3
SrZrHfO3 L5 ATO-HP or CIP AZO-HP or CIP
钛酸镧LaTiO3 钛酸钡BaTiO3 钛酸锶SrTiO3 钛酸镨PrTiO3
冰晶石Na3AlF6 锥冰晶石Na5Al3F14 二钛酸镨Pr(TiO3)2 硫化锌ZnS
硫化镉CdS-HP 碲化镉CdTe-HP 铜铟镓硒CIGS-HP 锗锑碲GST-HP
硅钼合金MoSi-HP 二硫化钼MoS2-HP 二硫化钨WS2-HP 硅钛合金SiTi-HP
钨钛合金WTi-HP 硅铝合金SiAl-HP 钼铬合金 MoCr-HP 铝铬合金AlCr-HP
粉末冶金靶材种类繁多，以上列出有代表性材料，可根据要求定做。
4.高纯金属及合金材料（溅射靶材、颗粒）
铪靶Hf 锆靶Zr 钛靶Ti 铝靶Al 铬靶Cr
镁靶Mg 铜靶Cu 铁靶Fe 铌靶Nb 锡靶Sn
钨靶W 钽靶Ta 钼靶Mo 镍靶Ni 钴靶Co
钒靶V 铽靶Tb 钆靶Gd 镧靶La 铈靶Ce
钕靶Nd 镨靶Pr 金靶Au 银靶Ag 铂靶Pt
镍铬合金NiCr 镍钒合金NiV 锆钛合金ZrTi 铌锆合金NbZr 锌镉合金ZnCd