HicubeTM Classic
分子泵可选（ISO KF/CF）：Hipace80、Hipace300、Hipace400、Hipace700
前级泵可选：MVP040、MVP070、DUO2.5、DUO5M
真空度< 1 · 10-7 /1 · 10-10 mbar
注：MVP-干泵、DUO-双极旋片（油）泵
HicubeTM Pro
分子泵可选（ISO KF/CF）：Hipace80、Hipace300、Hipace400、Hipace700
前级泵可选：Penta20、Penta35、ACP15、ACP28、ACP40
真空度< 1 · 10-7 /1 · 10-10 mbar
注：Penta-单级旋片（油）泵、ACP-干泵
HicubeTM 泵组优点：
? 模块化设计原则轻松满足客户多种应用需求
? “即插即用”-无需布线和安装
? 各部件配合简便，易于保养维修
? 结构坚固，服务寿命长，可靠性高
? 集成的驱动系统，无需额外的控制系统
? 意外断电时，前级真空安全阀（可选）可保护真空腔体免受返流影响
