碱腐蚀清洗机厂家报价

厂商：保定市天易佳电子设备制造有限公司

河南郑州市

主营产品：
超声波除藻设备
超声波除垢设备
超声波细胞破碎仪

联系电话：15833126577

商品详细描述

供应碱腐蚀清洗机厂家报价/碱腐蚀清洗机批发价

设备具有清洗、喷淋等几个工位，设备利用超声波空化渗透力强的工作原理并结合清洗剂的化学除油，去污作用使工件表面洁净。

硅片酸腐蚀与碱腐蚀工艺比较

参数

酸腐蚀工艺

碱腐蚀工艺

腐蚀特性

各向同性

各向异性

腐蚀反应的热量

放热

吸热

表面平坦度

（

STIR\TIR\TTV

）

需要依靠晶片的旋转、

特制的

夹具、

通气体充分搅拌腐蚀液

等特殊机构及工艺手段来改

善其表面平坦度

不需要特殊机构便可达到一

定的表面平坦度

腐蚀后表面粗糙度（

Ra

）

比碱腐蚀工艺小，

与晶片原有

的损伤程度有关

比酸腐蚀工艺大，

与晶片原有

的损伤程度有关

硅片表面残留的微粒

原先就已存在于晶片表面上

的微粒就难去掉，

较低的表面

粗糙度不容易吸附微粒

原先就已存在于晶片表面上

的微粒容易去掉，

较差的表面

粗糙度容易吸附微粒

金属污染程度

(Cu\Ni)

腐蚀液的纯度比较高，

腐蚀温

度较低，金属扩散程度小

腐蚀液的纯度比较差，

腐蚀温

度高，金属扩散程度大，

（

111

）晶向比（

100

）晶向

严重

表面腐蚀斑点残留印痕

晶片从腐蚀液转移到水中时

间必须小于

0.6s

，才能有效

防止斑痕的产生，

较低电阻率

的晶片比较容易产生斑痕

晶片从腐蚀液转移到水中的

时间必须小于

2s

，才能有效

防止斑痕的产生，

与晶片的电

阻率无关

腐蚀液槽的使用寿命

比较短

比较长

加工成本

所用化学试剂比碱腐蚀用化

学试剂费用约贵

2

倍左右

所用化学试剂费用较便宜

环境保护处理

环保处理相对比较复杂

环保处理相对比较容易

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