厂商 :北京航星联合科技有限公司
北京 北京- 主营产品:
- 转台加工设计制造
- 转台
- 空气轴承
联系电话 :18610242118
商品详细描述
特种装置:
光刻机:
气浮导轨:
可真空密封的圆形导轨:用于半导体工业硅片处理设备,在保持真空腔真空度的情况下,圆形导轨可以同时上下滑动和旋转。采用3个真空腔抽真空,密封性好。
以上是航星联合为客户研制生产的空气滑杆, 采用高科技材料和生产手段,使用了空气轴承技术,空气滑杆移动没有摩擦,将机械噪音降为零。 |
清华大学承担了国家863火炬项目:大规模集成电路生产设备光刻机。光刻机最重要的部分之一是超高精度的三维导轨。我公司为此项目研制生产超高精度的气悬浮三维导轨。 |
我公司交付的气浮导轨,客户为北京航空工业某单位,用于航空零件的检测 |
可真空密封的圆形导轨:用于半导体工业硅片处理设备,在保持真空腔真空度的情况下,圆形导轨可以同时上下滑动和旋转。采用3个真空腔抽真空,密封性好。
大型球面空气轴承: 首创 |
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