BDCYJS溅射薄膜压力传感器芯体

BDCYJS系列离子束溅射薄膜压力传感器芯体，应用先进的离子束溅射和离子束刻蚀工艺，将应变电桥直接制作在金属测压膜片上。由于不用传统的胶粘工艺，显著改善了应用式传感器的长期稳定性及抗蠕变特性，使产品使用的温度范围大为扩展。该传感器具有体积小、精度高、稳定性好、使用温度高、温度漂移小、电桥阻抗高、抗振动和抗冲击性强等优点，可用于高温及低温等恶劣的环境。

技术参数

1.      测量范围：1~150Mpa

2.      精度：±0.1、±0.2mv/V

3.      灵敏性：1.5±0.2mv/V

4.      稳定性：0.1%FS/年

5.      介质温度：-196×150℃

6.      温漂影响：<2×10^-4FS/℃

7.      过载：测量范围的1.5倍（大于100Mpa为量程的1.2倍

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崔瑞
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