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表面涂层综合性能评价试验机(MSE微粒喷浆冲蚀法)
微粒喷浆冲蚀MSE方法
使用恒定的固体微粒对材料表面进行冲蚀,材料磨损量随表面强度而改变。MSE试验机将磨损量的变化转换成磨损率,来评估和对比各种材料表面强度。
适用范围:涂层、镀层、镀膜
1、MSE是市场上唯一的、采用全新方法评估涂层材料的试验机。
2、MSE是市场上唯一的可以评估坚硬涂层的试验机,对坚硬涂层具有高分辨能力,可对多种坚硬涂层进行评估,如TiN,DLC(类金刚石镀膜),CBN(立方氮化硼)和金刚石等,填补了现在各种试验机不能评估坚硬涂层的空白。
3、MSE也是唯一的可对多涂层进行精确评估的试验机。
4、MSE微粒碰撞产生的磨损是纳米级的,可在不破坏基体材料的情况下,对薄膜涂层进行评估。结合对碰撞微粒的精确控制,具有很好的重复性。
5、MSE评估分析时间短。浆体的高速喷射使得产生1μm的磨损深度只需几秒时间,Si晶片约3s,蓝宝石约75s,TiN薄膜约350s,DLC约8000s。
产品应用(所有具有表面涂层材料筛选、研究的应用领域)
1、涂层和硬涂层材料的研发
● 切削工具和研磨工具的寿命预测,可与元素分析,划痕测试等设备联用。
● 硬涂层薄膜材料的研发。
● 坚硬新材料的研发领域,用于尖端技术(飞机或火箭)的坚硬材料和耐高温材料等。
● 薄膜制造工艺研发领域,不同的生产工艺导致薄膜质量差异,MSE使用磨损率对薄膜细微差异进行评估。
● 烧结材料制造工艺研发领域,在试制阶段及时进行材料的物理和力学特性评估。
2、制造领域
● 制造设备质量波动检测
● 间接设备维护,时常进行产品检验对改进和保持产品质量非常重要的。
● 质量保证
表面涂层综合性能评价试验机(MSE微粒喷浆冲蚀法)的示例
表面涂层综合性能评价试验机(MSE微粒喷浆冲蚀法)各种材料的摩损率等级
MSE测量的技术参数
微粒喷浆冲蚀MSE方法
使用恒定的固体微粒对材料表面进行冲蚀,材料磨损量随表面强度而改变。MSE试验机将磨损量的变化转换成磨损率,来评估和对比各种材料表面强度。
适用范围:涂层、镀层、镀膜
- 涂层强度 (可检测多级涂层强度数值化)
- 复合涂层厚度(可分层检测多涂层)
- 涂层间、涂层与基体结合力
- 通过对膜的检测。评价镀膜工艺性能
- 涂层均匀度
1、MSE是市场上唯一的、采用全新方法评估涂层材料的试验机。
2、MSE是市场上唯一的可以评估坚硬涂层的试验机,对坚硬涂层具有高分辨能力,可对多种坚硬涂层进行评估,如TiN,DLC(类金刚石镀膜),CBN(立方氮化硼)和金刚石等,填补了现在各种试验机不能评估坚硬涂层的空白。
3、MSE也是唯一的可对多涂层进行精确评估的试验机。
4、MSE微粒碰撞产生的磨损是纳米级的,可在不破坏基体材料的情况下,对薄膜涂层进行评估。结合对碰撞微粒的精确控制,具有很好的重复性。
5、MSE评估分析时间短。浆体的高速喷射使得产生1μm的磨损深度只需几秒时间,Si晶片约3s,蓝宝石约75s,TiN薄膜约350s,DLC约8000s。
产品应用(所有具有表面涂层材料筛选、研究的应用领域)
1、涂层和硬涂层材料的研发
● 切削工具和研磨工具的寿命预测,可与元素分析,划痕测试等设备联用。
● 硬涂层薄膜材料的研发。
● 坚硬新材料的研发领域,用于尖端技术(飞机或火箭)的坚硬材料和耐高温材料等。
● 薄膜制造工艺研发领域,不同的生产工艺导致薄膜质量差异,MSE使用磨损率对薄膜细微差异进行评估。
● 烧结材料制造工艺研发领域,在试制阶段及时进行材料的物理和力学特性评估。
2、制造领域
● 制造设备质量波动检测
● 间接设备维护,时常进行产品检验对改进和保持产品质量非常重要的。
● 质量保证
表面涂层综合性能评价试验机(MSE微粒喷浆冲蚀法)的示例
表面涂层综合性能评价试验机(MSE微粒喷浆冲蚀法)各种材料的摩损率等级
MSE测量的技术参数
MSE-S | MSE-A | MSE-B | |
基本规格 | |||
构造 | 磨损处理系统 | 磨损处理系统 | 磨损处理系统 |
- | 样品清洗单元 | - | |
- | 自动测量系统 | - | |
- | 数据处理系统 | - | |
测试规格 | |||
样品尺寸 | 30mm×t10mm | 30mm×t10mm | 30mm×t10mm |
磨损面积 | 1mm | 1mm | 2mm |
颗粒类型 | 平均直径1.2μm(WA8000) | 平均直径1.2μm(WA8000) | 平均直径1.2μm—100μm |
浆体密度 | 3wt%(恒定) | 3wt%(恒定) | 最大 5wt% |
浆体罐容量 | 1L | 1L | 1L |
喷射角度 | 90°(恒定) | 90°(恒定) | 60°~90°喷射过程中恒定 |
喷射分辨率 | 0.5g | 0.5g | 0.5g |
连续测量的准确度 | ±8% | ±8% | ±8% |
测量部分参数 | |||
方法 | - | 垂直扫描 干涉仪形貌测量 | - |
面积 | - | 1330×1760μm | - |
深度 | - | 20μm | - |
分辨率 | - | 20nm | - |
主体参数 | |||
尺寸 | W700×d530×h610 | W1100×d500×h650 | W600×d550×h650 |
测量控制部分 | - | W550×d550×h580 | - |
屏幕 | - | W400×d200×h400 | - |
Utility | |||
电源 | 100v 0.8kva | 100v 1kva | 100v 0.8kva |
气源 |
干燥空气(0.55 mpa 以上) 15L/min (ANR 0.4kw 相当) |
干燥空气(0.55 mpa 以上) 15L/min (ANR 0.4kw 相当) |
干燥空气(0.55 mpa 以上) 15L/min (ANR 0.75kw 相当) |
其他 | 空气和水废液 | 水源,空气和水废液 | 空气和水废液 |
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