6寸晶圆切割机NANO150F

厂商 :鸿微电子设备有限公司

上海 上海
  • 主营产品:
  • 贴膜机
  • 清洗机
  • 晶圆切割机
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商品详细描述
 

全新6寸半自动切割机 NANO150F

1.专为玻璃,Wafer,封装型电子零件精密切割量身打造

2.高刚性机构设计,提供高精度及高效率的加工性能

3.友善的人机界面,操作建议且直接

4.紧致型设计,缩减占地面积

项目

叙述

单位

规格

工作范围

mm

160X160

主軸

最高允许转数

rpm

60000

最大输出马力

kW

1.2

1.8(选配)

X

最大工作行程

mm

160

最大移动行程

mm

267

Y

最大工作行程

mm

160

最小分割设定

mm

0.0001

单一移动精度

mm/mm

0.003/5

全行程移动精度

mm/mm

0.005/160

Z

最大工作行程

mm

30

最小分割设定

mm

0.000125

最大刀片直径

mm

Φ60

重复精度

mm

0.001

θ

最大旋转角度

deg

360

最小分割设定

sec

0.405

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