M3030V气体质量流量控制器

厂商 ：上海昕潼贸易有限公司

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  • 主营产品：
  • 气体质量流量计
  • 气体质量流量控制器
  • 高精度气体质量流量计
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商品详细描述
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韩国原装进口高精度气体质量流量计/气体质量流量控制器，广泛应用于半导体工业和其他行业。


超微流量气体质量流量控制器


坚固、耐用、经济,?耐腐蚀、耐高压


最大工作压力90bar


规格：
型号
M3030V
流量范围（N2)
0~30 slpm
响应时间
＜2秒
精确度
±1%
重复精度
±0.25%
输入输出信号
0~5Vdc?
供电
+15Vdc?or?+24Vdc,350mA
最大工作压力
90 bar
最大工作温度
0~50℃
漏率
1×10-9atm.cc/sec
控制范围
2~100%
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