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商品详细描述
能对应200 mm晶圆和FPD玻璃基板的电动型号（反射透射兼用）
能够应对从明视场观察到荧光观察的多种观察方法。切换物镜时亮度光圈连动能进行自动调节。这些功能实现了快速舒适的检查环境。
半导体/FPD检查显微镜 MX61
半导体/FPD检查显微镜 MX61
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|---|---|
| 晶圆（明视场观察） | 晶圆（暗视场观察） |
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| 晶圆（微分干涉观察） | 彩色滤色片（透射观察） |
半导体/FPD检查显微镜 MX61 : 特长 (1)
- UIS2物镜形成的鲜明的观察影像
- 考虑了检查效率的设计
- 支持缺陷检测的多种功能
- 帮助实现多种观察的附件
UIS2物镜形成的鲜明的观察影像
UIS2物镜拥有各种倍率、特殊用途物镜等丰富的产品阵容，可按照用途选用。另外，波像差控制带来的高品质，忠实于样本的中性色彩显示等，UIS2物镜无论是在目视观察中还是在数码影像观察中都能发挥它的卓越性能。
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|---|---|---|---|
| 明视场观察 | 暗视场观察 | 微分干涉观察 | 荧光观察 |
考虑了检查效率的设计
主要操作集中配置在前面板上
在对比度的决定上起重要作用的亮度光圈（AS）的开闭调节，与物镜的切换和观察模式连动，用一个按钮就可以操作。此外，用一个手指就可以调光的旋钮也配置在前面板上，从而提高了检查速度。物镜和亮度光圈（AS）的按钮分别斜向配置，手不离开对焦手柄，只要轻动大拇指就可以操作。这个按钮的倾斜式设计提高了手指尖的感知，能够防止错误操作。
前面板
观察姿势迅速到位的倾斜镜筒
为了适应视点而调整座椅的高度，或是以不合理的姿势进行检查的话会浪费时间，降低工作速度。但是，配备倾斜角度为0°～42°（可变高度为150 mm，SEMI S8对应）的倾斜镜筒，可采取与检查者体格无关的舒适观察姿势，甚至可以站立检查。此外，这一款镜筒拉长了从观察中心轴到观察者视点的距离，可以在较大的平台上轻松操作。
倾斜镜筒示意图
安全快速的搬运晶圆
MX61能与自动晶圆搬送机组合，组合后的尺寸也被设计得很小。能够无接触、安全和快速的执行从内面的宏观检查到微观检查等多种任务。此外，晶圆盒还可以从前面轻松设置。如果使用选件的遥控器，那么不良晶圆的登录、开始和保存可以在手中快速完成。
支持缺陷检测的多种功能
快速切换物镜，提高检查速度
电动物镜转换器的切换速度比原来提高了20%。物镜的切换，可以操作按钮瞬时间完成，提高了检查速度。三种洁净类型的物镜转换器可以按需选择。另外，UIS2物镜大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸摄像元件的CCD摄像机，在切换倍率时也不会由视场中心附近偏离。
电动物镜转换器示意图
变换物镜，亮度光圈（AS）也随之调节
每次变换物镜时都需要调节亮度光圈（AS）的话，会影响检查速度。MX61对每个物镜都可以设置观察方法和AS（14级），仅切换物镜就能以最合适的对比度进行观察。在变换物镜和切换观察模式时不再需要花时间调节AS，提高速度的同时减轻了操作员的疲劳。
AS自动调节示意图
高灵敏度载物台可以迅速决定位置
对应200 mm晶圆的MX-SIC8R采用了内置离合器的载物台夹子，可切换粗调和细调。在显微镜观察的同时能自由地移动载物台，从而提高了检查速度。
帮助实现多种观察的附件
可以在必要的时候追加所需的功能
用于显微镜的深紫外线观察系统
根据最新的DUV光学设计，实现了减少光晕、图像分辨极限达80nm的高对比度影像。可以在低倍率可见光线到DUV环境下进行连续观察。
用于显微镜的深紫外线观察系统
深紫外线观察
可视光线观察
近红外线观察单元
由可见光线领域到近红外线领域的像差校正物镜，和红外线用超广角三目镜筒等，对应近红外线的装置备有各种型号。在晶圆凸出物接触面等的观察上发挥威力。
近红外线观察单元
近红外线观察
荧光观察单元
在滑杆上追加镜子装置可以对应荧光观察。备有U,B,G激励的反射镜装置，可有效地检查和分析有机EL和残留抗蚀剂。
荧光镜单元
荧光观察
透射照明单元
对应光掩模和FPD检查的透射照明单元。偏振光片的搭载，实现了透射简易偏振光观察。有通用的A型号和高NA（数值孔径）的B型号两种型号。
透射照明单元
使用数码照相机记录和保存数码影像
三目镜筒可以安装数码照相机。可以保存和记录数码影像，帮助创建观察报告。可依据用途从图像质量、功能、使用方便性等方面选择数码照相机。半导体/FPD检查显微镜 MX61 : 规格
| 光学系统 | UIS2光学系统（无限远校正） | ||
|---|---|---|---|
| 机身 | 观察方法 | 明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光 | |
| 反射/透射 | 反射/透射 | ||
| 照明装置 | 机身一体型（明视场，暗视场＋1选件） | ||
| 照明系统 | 反射照明 | 100 W卤素/100 W水银/75 W氙 | |
| 透射照明 | 纤维光导 | ||
| 对焦单元 | 电动/手动 | 手动 | |
| 行程 | 32 mm | ||
| 分辨率/微调灵敏度 | 微调旋钮转动1周移动0.1 mm | ||
| 最大样本高度 | 30 mm | ||
| 物镜转换器 | 电动型 | 明视场微分干涉6孔 明暗视场微分干涉5孔 明暗视场微分干涉6孔 明暗视场微分干涉中心输出5孔 | |
| 手动式 | - | ||
| 载物台 | 行程 | 8×8 英寸右下手柄：210（X）×210（Y）mm（透射照明范围189×189 mm） 6×6 英寸右下手柄：158（X）×158（Y）mm | |
| 观察筒 | 广角视场（视场数22） | 倒置 | 双目/三目观察筒 |
| 正像 | 三目观察筒 | ||
| 超宽视场（视场数26.5） | 倒置 | 三目观察筒 | |
| 正像 | 倾斜三目观察筒 | ||
| 附件单元 | DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载 | ||
| 外形尺寸 | 509（W）×843（D）×507（H）mm（标准组合） | ||
| 重量 | 40 kg（标准组合） | ||
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