TalysurfCCI系列白光干涉仪

Talysurf CCI 6000白光干涉仪：
&解析度（Z轴） 0.01nm （0.1?）
&测量范围（Z轴） 100um
&测量范围（X x Y） 0.36mm x 0.36mm ~ 7.2mm x 7.2mm（依物镜倍率不同可自由选择）
&1024 x 1024 高解析量测点数
&受测物的反射率 0.3% - 100% （透明物亦可量测）
硬件及软件
&气浮式防震系统已隔绝楼板震动?隔离罩以隔离外在环境避免影响量测精度
&相容于Windows 2000及 Windows XP 系统
CCI干涉仪 Mirau 干涉

白光干涉仪3D分析软件
&Talymap 3D & 2D 分析软体。
&可分析项目: 粗度 平面度 波纹 膜厚 体积计算 承压比值 等等。
&微机电尺寸计算（距离 高度 等计算）?表面频谱分析（FFT）
MEMS Sensor
Optics Diamond Turned& Wafer Step

Talysurf CCI 6000白光干涉仪应用：
&MEMS 微小尺寸计算
&Silicon Wafer 表面粗度 平面度
&非球面镜表面粗糙度
&硬碟 光碟表面组织形状
&OLED PDP LCD 膜厚分析计算