厂商 ：郑州科佳电炉有限公司
河南 郑州市- 主营产品：
- 高温电炉
- 马弗炉
- 箱式电炉
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产品名称 |
PECVD系统 |
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1200型管式炉 |
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炉膛模式 |
开启式 |
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炉体滑动 |
可以通过导轨左右滑动实现物料的快冷和快热 |
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炉膛材料 |
进口氧化铝耐火纤维 |
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加热元件 |
进口含钼加热丝 |
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温度 |
1200℃ |
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工作温度 |
≤1100℃ |
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升温速率 |
≤20℃(建议:15℃/min) |
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加热温区 |
双温区 |
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温区总长度 |
220-220mm |
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炉管材质 |
高纯石英 |
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炉管直径 |
60mm |
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炉管长度约 |
2000mm |
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密封方式 |
不锈钢真空法兰一套(含密封硅胶圈) |
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控制模式 |
二温区30段智能PID程序单独控温 |
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恒温精度 |
±1℃ |
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温度曲线 |
多段"时间—温度曲线"任意可设 |
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测温元件 |
K型热电偶 |
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报警 |
有超温和断偶报警 |
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供电电源 |
220V 50HZ |
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整机功率 |
10 KW |
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等离子射频电源（可滑动式） |
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射频频率 |
13.56 MHz |
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功率范围 |
0-500W |
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反射功率 |
最大100W |
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射频接口 |
50 Ω, N-type |
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嗓声 |
≤55DB |
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冷却 |
风冷 |
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输入功率 |
1KW AC220V/50HZ |
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真空系统(含不锈钢波纹管和相关连接配件) |
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真空泵 |
成都南光的扩散泵机组 220V/50HZ 真空度能达到-2pa
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售后服务 |
12个月质保，终身保修 |
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包装形式 |
三合板木质包装箱，包装箱不回收 |
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随机配件 |
石英炉管1根、真空法兰、炉管堵塞、O型密封圈、防护手套、坩埚钩、聚四氟管、不锈钢卡套接头、不锈钢波纹管、KF转接头、5mm内六角扳手等配套。 |
