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德国BMT SMS专家级测量系统（共聚焦原理） |
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用于非接触表面测量分析的三维光电测量系统。按客户要求可选配其它多种光学位移测量传感器，如：自聚焦传感器、白光干涉系统、共焦传感器、触针式传感器、三角测量传感器、色敏传感器。工作站基本配置为精密的大理石桥式测量台和X、Y移动工作台。测量数据的采集是通过BMT专利三维软件包完成的。数据采集速度快、表面轮廓复现度高。光斑轨迹小以及倾斜度大的轮廓，可以对宏观和微观结果进行量化。所有的测量轴都具有纳米分辨率，模块化设计使系统可用于不同的测量任务。软件系统界面直观，操作方便，可以选配电机驱动Z轴来扩大测量范围。 主要用途 ◆ 任何粗糙、光滑表面检查和测量（可选用不同的传感器） ◆ 用于金属片、纸、玻璃塑胶、晶片、刀具等行业 ◆ 其他表面的微观形貌测量 ◆ 微型机械元件的尺寸测量 ◆ 金相测量 ◆ 微小或较大区域内直线度、平面度、台阶高度、粗糙度的测量计算 主要特点 ◆ 非接触测量表面轮廓、反射率、垂直和横向尺寸 ◆ 测量范围：X、Y方向可达300mm、Z轴可达50mm ◆ 横向分辨率优于1μm，Z轴分辨率最高接近1mm（取决于传感器） ◆ 可用显微镜和照相机观察表面（选配） ◆ 二维/三维粗糙度测量分析、快速傅立叶变换、自相关函数并可测平面度、台阶高度、斜坡 ◆ 采用宏汇编语言实现自动化测量 主要优势 ◆ 快速分析表面结构且结构紧凑 ◆ 自动数据采集和评估 ◆ 用户搭配的测量系统 ◆ 测量范围大 ◆ 合理的价格 技术参数 共聚焦显微镜头 ◆ 光源：LED ◆ 寿命（h）：＞50，000 ◆ 采用步进电机时的测量范围（mm）：50 ◆ 采用压电执行器时的测量范围（μm）：100 / 150 ◆ 最高垂直分辨率（nm）：30 ◆ 最高横向分辨率（μm）：3 ◆ 工作距离（mm）：50 ◆ 选件：根据不同的原理配置不同的传感器：三坐标测量，共聚焦，自动聚焦，彩色聚焦；能减振的工作台；用户定制的工件夹具；空气轴承工作台。 |
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