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德国BMT WLI Linik干涉仪 |
德国BMT WLI Linik干涉仪 特点:
? 区域表面的形貌测量;
? 数秒内快速测量;
? 粗糙和光滑表面都可测量;
? 测量结果不受样品的颜色和材料影响;
? 产品坚固耐用。 技术参数:
? 光源 LED
? 测量范围 (mm) 150
? 垂直分辨率(nm) 1
? 横向分辨率(μm) >0.2
? 测量面积 (μm) 90×70
? 工作距离,约(mm) 0.3
? 光斑尺寸,约(μm) 0.95
? 图像尺寸(Pixel) 1~10 |
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