无机类高纯气体
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气体品种
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纯度等级
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杂质含量(PPM)
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氩气Ar
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99.999%
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N2≤4 H2≤0.5 O2≤1.5 H2O≤3 CO+CO2+CH4≤1
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>99.9995%
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O2≤1 H2O≤2 THC≤0.5 N2≤2 H2≤0.5
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氢气H2
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99.999%
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O2≤1 CO2≤1 N2≤5 CH4≤1 CO≤3 H2O≤1
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氦气He
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99.999%
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H2≤0.5 O2+Ar≤2 N2≤5 CO2≤0.5 CH4≤0.5 Ne≤0.5 H2O≤3 CO≤0.5
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99.995%
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Ne≤0.5 CO≤1.0 H2≤3 CO2≤1.0 O2+Ar≤3 CH4≤1.0 N2≤10 H2O≤10
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氮气N2
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99.999%
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O2≤3 H2O≤3 CH4≤0.5 H2≤1 CO+CO2≤1
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氧气O2
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99.999%
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Ar≤2 N2≤5 H2O≤2 CO+CO2+CH4≤1 H2≤0.5
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99.995%
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H2O≤3 CO+CO2+CH4≤3 Ar≤10 N2≤20 H2≤0.1
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一氧化碳CO
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99.9%
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H2≤10 O2≤100 N2≤500 THC≤5
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二氧化碳CO2
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99.995%
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O2≤10 H2O≤5 N2≤20 CO≤1 HC≤10
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99.999%
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O2≤1 H2O≤2 N2≤5 CO≤1 HC≤1
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氖气Ne
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99.999%
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He≤6 CO≤0.05 H2≤1 CO2≤0.5 O2+Ar≤1 CH4≤1 N2≤2
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氪气Kr
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>99.999%
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CO2≤0.4 O2≤0.5 CO≤0.3 He≤3 H2≤0.5 CH4≤0.3 H2O≤2 N2≤2 Ar≤0.5 Xe≤2 C2F6≤0.1 CF4≤0.1 SF6≤0.1
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氙气Xe
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>99.999%
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CO2≤0.5 O2≤0.5 CO≤0.3 He≤3 H2≤0.5 H2O≤2 Ar≤0.5 Kr≤0.5 C2F6≤0.1 CF4≤0.1 总炔≤0.1 SF6≤0.1 N2≤2.5
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六氟化硫SF6
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>99.9%
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N2+O2≤300 H2O≤3.0 CF4≤300
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硫化氢H2S
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>99.99%
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N2+O2≤50 H2O≤10 CO2≤30 THC≤10
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