合肥气站用氩气纯化装置氩气净化

厂商 :苏州瑞泽气体净化设备有限公司

江苏 苏州
  • 主营产品:
  • 配气柜装置 配比柜
  • 氮气纯化净化机
  • 氮气净化纯化设备
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商品详细描述
高纯氩气净化机
高纯氩气主要用途:用于焊接、不锈钢制造、冶炼,还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等氩气作为制作单晶及多晶硅的保护气,为了提高硅晶体的质量,如何选用较高纯度的氩气,是制作硅晶体的一个议题。通过对本装置的使用,氩气的纯度其中氧含量小于1ppm时,水分也小于1ppm时,制作出的单晶硅其氧碳含量就小于0.5ppm,这样就提高了单晶的使用寿命并能达到要求,赢得客户的满意和市场的需求。由于一般液氩汽化后未经过纯化处理,它的氧含量一般在2ppm~5ppm。有时气体供应商提供的氩气超过了此范围,但使用氩气的客户确不知道其质量,所以往往给生产产品质量造成影响。有了氩气纯化装置后不论氩原料气的质量如何,只要经过纯化装置的处理后,进入拉晶炉的氩气,纯度始终是恒定的。一般O2<0.2ppm,水分<1ppm,这样稳定的氩气对生产晶体质量是有保证的。氩气纯化装置是针对需要使用超高纯度氩气的客户而设计的。
装置特点:
1.净化则采用了世界最先进的净化材料。其特点有吸附深度好,吸收杂质气体量大的特点,最高纯度可达99.9999%以上。
2.并在最后安装了小于0.1μ的金属过滤器。保证了气体粉末的要求。
3.本装置的阀门采用国内外专业阀门公司的优质产品,保证了产品的高纯度无渗透及安全可靠性。
4.设备中全部容器、管道、阀门均为不锈钢材质。
5.设备中全部选用我公司跟踪国际先进水平而研制的净化材料,具有净化深度好、安全可靠、可反复再生的特点。
6.设备中的主要控制仪表全部采用国内外先进产品。
7.接头采用先进的高纯接头,保证了无渗透。
8.外观设计采用国际流行颜色及形式,使产品更美观。
9.设备可以在线加装微氧分析仪和微量水分析仪使净化后气体得到监测。避免了因设备问题的损失。
10.本设备具有体积小,操作简便,能耗小,安全可靠的特点。无须频繁再生及再生无须加氢的特点。
11.本设备在金属保护行业、电子、电光源、科研、气体、分析、医学等领域以及光谱仪、气相色谱仪、科学仪器等的配套使用设备,得到了广泛的应用。
12.另外,我公司还可以根据用户的不同需求,定制5m/h~500m3/h的大净化流量高纯气体净化器。详情请来电垂询,欢迎订购。
13.可根据用户的要求对设备进行再设计,如加装水分仪和全自动设备(价格另议)设备加装微氧分析仪使净化后气体得到监测。避免了因设备问题的损失。本设备具有体积小,操作简便,能耗小,安全可靠的特点。无需频繁再生及再生无须加氢的特点。

设备工作原理
设备工作设有两组工作组,填装的净化材料属于可再生重复利用材料。原料液氩经汽化器汽化后由设备工作进口进入设备一组工作组,经脱氧剂、分子筛及精密高效过滤器后送出至工作点使用。一组工作组负荷饱和后,切换到另一组工作组工作,保证为使用点连续的提供高纯氩气。同时一组工作组开始再生加热加氢反吹洗(本系统加氢是为了还原脱氧剂,加氢结束后设备自动吹洗并直接放空),为等待下一次切换使用做好准备。装置工作为常温工作,脱氧程度深、碳水含量低,均可达到并高于GB高纯氩气标准。
二、主要技术条件
1处理气量≥2-320Nm3/h
2工作压力<0.8Mpa
3原料氩气纯度≥99.9999%
4纯化后O2≤0.2ppm,CO+CO2<0.3ppm,CH4<0.2ppm,
H2O≤1ppm


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