该仪器依据国家标准和美国A.S.T.M标准,专门测量半导体薄层电阻(表面电阻)的新型仪器,可用于测量一般半导体材料、导电薄膜(ITO透明氧化膜),金属薄膜……等同类物质的薄层电阻。
该仪器以大规模集成电路为主要核心;用基准电源和运算放大器组成高精度稳流源;带回路有效正常指示电路;并配以大型LCD显示读数,使仪器具有体积小、重量轻、外形美、易操作、测量速度快、精度高的
特点。
采用大规模集成电路作为仪器的主要部分,测量准确稳定,低功耗;
以大屏幕LCD显示读数,直观清晰;
采用单个电池供电,带电池欠压指示;
体积≤175mm X90mm X42mm,重量≤300g;
特制手握式探笔,球形探针、镀金探针有效接触被测材料及保护薄膜
探头带抗静电模块
测量范围 |
按方块电阻量值大小分为二个量程档: |
恒流源 |
测量过程误差:≤±0.8% |
模数转换器 |
量程:0~199.99mv; |
测量不确定度 |
在整个量程范围内,测量不确定度≤5% |
四探针探头规格 |
间距:1mm、1.59mm、3.8mm;偏差≤2%;游移率≤0.3%;绝缘电阻≥500MΩ |
电源 |
9V叠层电池1节 |
方块电阻测试仪可选配四探针探头的型号及规格:
型号 |
曲率半径 |
压力 |
探针间距 |
探针排列 |
HP-501 |
0.5mm |
100g |
3.8mm |
直线 |
HP-502 |
0.75mm |
100g |
3.8mm |
直线 |
HP-503 |
0.1mm |
150g |
1mm |
直线 |
HP-504 |
0.5mm |
100g |
1.59mm |
直线 |
SP-601 |
0.5mm |
100g |
1.59mm |
方形 |