雷尼绍线性角锥反射镜系统

数据格式	数字 - RS422方波正交信号 模拟 - 1 Vpp正弦/余弦信号
分辨率	数字 — 用户可选，最高可达10 nm（采用平面反射光学镜）或20 nm（采用角锥反射光学镜） 模拟 — 亚纳米，通过外部细分（例如RPI20并行接口）实现
最高速度	2 m/s（使用角锥反射光学镜）
激光类型	HeNe（氦/氖），常温常压下波长632.8 nm，II级
激光稳频精度	任意一小时期间±50 ppb (RLU10) 任意一小时期间±2 ppb (RLU20)
激光寿命	>50 000小时
最大轴长	4 m（使用角锥反射光学镜）

对于非真空应用，为了维持变动环境条件下的精度，需要某种形式的折射率补偿。雷尼绍提供RCU10实时方波补偿系统，用于对环境变化进行补偿。雷尼绍供应的角锥反射镜可能不适于真空或接近真空的应用。
RPI20并行接口集成到RLE系统中，可达到38.6皮米的分辨率（平面镜配置）。对于具有数字输出的增强分辨率，雷尼绍的REE系列细分盒能够提供0.395 nm的分辨率（平面镜配置）。该接口可接收差分模拟1 Vpp正弦/余弦信号，并提供并行输出格式。RCU10补偿系统、RPI20、REE以及与RLE系统配合的其他辅助设备的相关信息，请参阅附件。