光学式表面粗糙度轮廓形貌仪

厂商 :上海贝丁汉工业自动化设备有限公司

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  • 主营产品:
  • 载波包络相位调谐仪
  • 表面粗糙度轮廓仪
  • 激光平面度测量仪
联系电话 :18721565945
商品详细描述
产品功能
    对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、共面性、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、蚀刻情况、弯曲变形情况、加工情况、材料支撑率等表面形貌特征进行测量和分析。被测物体的尺寸通常不大于150*100mm,更大尺寸的测量系统可以定做;工作台最大承载重量40Kg。
    产品广泛应用于汽车工业、航空航天、造纸工业、钢铁工业、薄膜加工、半导体加工、MEMS等行业。
 
应用范围
* 机械密封的平面度和粗糙度测量;
* 电子元件表面的平面度、翘曲度和粗糙度测量分析;
* BGA焊料球的共面性、封装是否变形以及所有的焊料球是否都存在的检查分析;
* 造纸行业对纸张表面的纹理分析;
* 膜片的厚度及涂层的高度测量等;
* 化学蚀刻产品的蚀刻深度和面积测量;
* 压花材料表面特征分析,如合成材料人造皮革表面形貌测量分析;
* 丝印装置涂层厚度测量,如电子产品和生物医疗器械等;
* 轧制铝膜和钢板表面情况进行三维分析;
* 法医学上三维表面形貌测量分析;
* 压电陶瓷部件的轮廓和表面形貌特征测量分析;
* 牙齿的腐蚀和磨损情况分析;
* 医学上如人造皮肤的轮廓分析;
* 沟槽深度和截面计算分析;
* 激光蚀刻表面的雕刻深度测量;
* 各种柔软材料、易腐蚀材料、传统接触方式无法检测的产品的表面形态测量和分析;
* 其他各种小型部件的平面度、粗糙度、波纹度和轮廓测量分析。
 
产品介绍
    英国Scantron Industrial Products Ltd公司生产的Proscan 2000光学式表面粗糙度轮廓形貌仪,采用非接触式传感器扫描技术,用于对各种产品和部件的表面形貌特征进行测量和分析,它比传统的探针式轮廓仪操作更方便,测量精度更高。由于采用非接触无损的测量方式,避免了对被测物体造成划痕和磨损,尤其适用于各种柔软材料、易腐蚀材料和传统方式无法检测的表面形态测量和分析。
    Proscan 2000光学式表面粗糙度轮廓形貌仪最大扫描速度可达到80mm/秒,每秒2000个数据点,每行可扫描20000个独立的数据点,垂直测量分辨率最高可达到5nm,最小测量范围0-110μm,最大测量范围0-50mm。
    Proscan 2000以花岗岩为工作平台,是快速、精准、非接触式的三维表面形态测量仪器。广泛应用于各种表面轮廓和形貌特征精确测量分析的场合。高性能非接触式光学传感器扫面范围是150mm(长)X100mm(宽),使用色差传感器,每秒可测量1000个数据点,使用三角激光传感器每秒可测量10000个数据点,对被测件平面的扫描点数最多可达576万个数据点。配套软件可以对各种测量参数进行分析。
 
产品特点
* 花岗岩框架结构,受热胀冷缩影响非常小,基本没有振动。
* 配套软件可以以二维或三维的方式对数据进行形貌分析。
* 数据分析结果方便导出,导出格式有ASCII、ZZZZ...LF及XYZLF...CR’a’等。
* 数据分析也可选择二维X-Y平面视图,还具有三点平面修正和自动水平功能。


 
评定参数
Am               轮廓算术平均值
Ra               轮廓算术平均偏差
Rz(DIN)        峰谷高低平均值
Rz(ISO)        微观不平度十点高度
Rmax             轮廓最大高度
Rp               平均轮廓波峰高度
Rq               粗糙度均值平均方根
Rpm              峰值高度最大值
Rvm              谷值深度最大值
R3z              算术平均第三峰谷间高度
Wt               波形深度总值
Pt               轮廓深度总值
Nr               峰值计数归一
Tpa              材料支撑率(宏)
D                峰值密度
S                轮廓单峰平均间距
Sm               轮廓微观不平度平均间距
Lm               取样长度
共面性
Warpage滤波器,过滤表面粗糙度数据,而仅保留轮廓数据
Surface滤波器,过滤表面轮廓数据,而仅保留粗糙度数据
对单点进行编辑
在X和(或)Y轴上进行插值
半径计算
体积计算
表面积计算
截面积计算
三维轮廓显示


 
技术规范
扫描仪最大尺寸(长*宽*高)
740*542*(780-835)mm
扫描仪最大重量
40Kg
电控部分尺寸
570*700*750mm
电控部分重量
40Kg
计算机显示器
15” LED显示器
照明与定位摄像头(可选)
14” CRT
扫面平台尺寸
380*280mm
X和Y轴行程
150mm*100mm
Z轴行程
100mm
电源
220 - 240 VAC, 50/60Hz
使用环境
10-35℃
X及Y轴扫描点最小间隔距离
1μm
X及Y轴扫描点最大间隔距离
9.999mm
标准配置扫描样品最大重量
6Kg
数据采集最大速度(取决于传感器及设定)
20000点/秒
最大扫描速度(取决于传感器及设定)
80mm/秒
回程速度
100mm/秒
最大扫描点数
576万点

 
传感器选型方案
传感器
型号
垂直
测量范围
物镜测量距离
mm
分辨率
线性度
(%+/-量程)
技术
原理
S3/011
110μm
3.3
5 nm
0.1
白光色差技术
S11/03
300μm
11
12 nm
0.1
白光色差技术
S13/1.1
1.1 mm
12.7
25 nm
0.1
白光色差技术
S16/2.5
2.5mm
16.4
75 nm
0.1
白光色差技术
S29/10
10mm
29
280 nm
0.1
白光色差技术
S20/20
20mm
19.6
600 nm
0.1
白光色差技术
L25/2H
2 mm
25
0.1 μm
0.05
三角测量技术
L35/10H
10 mm
35
0.5 μm
0.03
三角测量技术
L50/20H
20 mm
50
1 μm
0.03
三角测量技术
L70/50H
50 mm
70
2.5 μm
0.03
三角测量技术

 
各种可选项
* 照明与定位摄像头,用于小型部件的定位和缺陷检查;
* 其他各种传感器;
* 仿制材料,用于对不容易进入的区域和对表面测量有困难的场合;
* 比标准的X和Y行程范围更大的测量平台。 
 
产品尺寸图

 
应用举例
一、电子元件的形貌检查


电子元件的原貌


对单个BGA的扫描结果
    100%检测BGA(包括穴距)和倒装芯片的包装情况,自动分析共面性、球面高度、球的位置和包装扭曲情况;分析丝焊高度和轮廓;亚微米级分辨率,三维图形显示平均、最大和最小深度。
 
二、部件表面粗糙度测量


被测部件原貌


扫描后的结果分析
    精确分析被测部件的表面纹理、波面度和形态特征,符合ISO和DIN的粗糙度国际参数分析标准,包括Ra、Rz、Rmax、Rq、Rvm、Rpm、Pt、Nr、D、Sm、Wt和Tpa等。可测量出平面度、表面积、体积、承载比和部件的精确尺寸。
 
三、纸张类表面的纹理分析


扫描前的产品原貌


扫描后的分析图
    对板材类、纸张类产品的表面进行纹理和形貌特征分析,自动计算各种表面分析的参数,如Ra、Rz、Rmax、Rvm、Rpm、Sm和材料比等,测量速度快,结果准确,操作简单。
 
视频资料
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样本下载
光学式表面粗糙度轮廓形貌仪2000.pdf
 
 
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