磁控溅射连续镀膜生产线

厂商 :肇庆市振华真空机械有限公司

广东 肇庆
  • 主营产品:
  • 连续镀膜生产线
  • 蒸发真空镀膜设备
  • 磁控溅射镀膜设备
联系电话 :15112577672
商品详细描述
由肇庆市振华真空机械有限公司研制生产的ZHPL-1400A大型连续镀膜生产线已经成功交付客户使用。本生产线是由立式真空室体、真空门阀和回架机构组合而成,专门设计用于在玻璃、金属、陶瓷、塑胶(PMMA/PC/PET)等材质上沉积氧化膜、陶瓷膜、金属膜或其他复合膜层。有效镀膜面积850*1100mm设备占地:20×10×2.4mL×W×H)。该生产线抽气系统采用涡轮分子泵作为抽气主泵,抽速稳定、快速,且干净无污染;在镀膜前采用离子轰击系统对基体进行离子清洗,活化基体,提高膜层质量;采用高精度气体质量流量计控制工艺气体输入和优化的矩形平面溅射靶和直流脉冲电源,可实现高速、稳定的沉积工艺,在基体上获得高品质的单一或复合膜层;红外加热系统,温度控制采用PID控制,控制精度高满足基体温升稳定、加热均匀的要求;真空室传动输入采用磁流体密封,使用减速电机驱动,同步带连接,保证基体传动平稳;整个电气控制系统安全、可靠和稳定,产品性能目前在国内处于领先地位。
振华真空成立于1992年,已有近20多年的真空经验,同类产品还包括:ITO镀膜生产线,EMI镀膜生产线,LOW-E建筑玻璃镀膜生产线等等产品,欢迎来厂考察洽谈。
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