等离子刻蚀机

等离子刻蚀机，等离子清洗机的优点：
　　增强润湿亲水能力处理
　　表面处理和清洁
　　增强其板引线的键和强度
　　提高有机高分子聚合物的粘合性

等离子清洗/刻蚀机的特殊应用：
等离子清洗机在处理TEM样品具有明显的优势。处理完后生成物不会对环境造成污染，由于TEM是工作在非常洁净的环境中的，所以等离子清洗是目前处理TEM样品最为理想的技术。它的优势在于：
1． 处理完后绝无残留物。
2． 可以防止TEM样品在以后的使用中形成污斑。
3． 在非常敏感的薄膜的微量分析中，使用低能量的X光，不会形成吸收层。
4． 在高扩大率下得到更好的数据。
5． 最真实的表面成像和表面成分分析。
6． 成本低、便于操作。
7． 即使样品的表面未形成污点，也可以通过等离子处理来优化观察表面。