小型等离子清洗机

小型等离子清洗机主要适用于实验、科研、医学及小规模的生产领域。特点：成本低，整机机械、电气结构简单、实用，易维护。控制方式：手动或自动控制模式，利用各简单元器件的巧妙组合成自动控制体系，各参数调整好后，一键完成整个清洗工艺。电源功率、清洗时间、气体流量、净化真空度等参数可设置。射频电源手动匹配（自主研发的全固态晶体管输出型）浮子精密气体流量计、针阀等控制工艺气体流量。清洗完成有提示音，反射功率过大报警，工艺气体耗尽报警，泵热过载报警，反应仓泄漏报警，电极采用高通量等离子结构，牢固可靠易拆卸。反应仓为矩形不锈钢腔体，水平电极板放置，间距可调。真空泵采用双腔式旋片泵，极限真空度可达2Pa以下，一般采用外置。真空泵可选配液位低报警装置