感应耦合等离子体刻蚀BCB

厂商 ：北京松信宏泽科技有限公司

北京
  • 主营产品：
  • 食品安全检测仪
  • 辐射剂量仪
  • 英国PPM甲醛检测仪
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商品详细描述

 

感应耦合等离子体刻蚀BCB—刻蚀苯并环丁烯 在BCB上刻蚀的孔
BCB被用于各种应用，包括制造砷化镓集成电路，砷化镓芯片的植球和连线重排，以及平板显示中的平整化和绝缘。同时，由于它具有低介电常数，在电子工业的许多应用中被用作电介质材料。 典型地，采用氟和氧气的混合气刻蚀它。
• 感应耦合等离子体
• 氦气背面冷却
结果:
• 刻蚀速率近似200纳米/分钟
• 6英寸晶片内均匀性公差小于±2.5 %
    var TabbedPanels1 = new Spry.Widget.TabbedPanels("TabbedPanels1");
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